[實用新型]一種拋光表面檢測裝置

有效

• 申請號: 201921853522.0
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN211332765U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 孫韜
• 申請（專利權）人: 寧波日晟新材料有限公司
• 主分類號: B24B49/12
• 分類號: B24B49/12;B24B37/005;G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 寧波知坤專利代理事務所(特殊普通合伙) 33312
• 代理人: 朱玉泉

1.一種拋光表面檢測裝置，包括機架、基座、轉動軸、研磨墊、修整器、拋光頭、軸桿，其特征在于：還包括噴淋桿，所述噴淋桿上通過噴淋轉軸轉動連接有噴淋頭，所述噴淋桿與所述噴淋頭內設有供研磨液流動的液體通道，所述液體通道連通有補液通道，所述補液通道連接有補液箱，所述補液通道上還設有控制補液通道開閉的轉動桿，所述轉動桿上開設有研磨液通過的通孔，所述轉動桿還同軸連接有傳動組，所述傳動組的另一端與所述噴淋轉軸同軸連接。

2.根據權利要求1所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述拋光頭底面可拆卸連接有殼體，所述殼體內設有環形固定圈，所述環形固定圈沿圓周方向均勻設有若干滑槽，所述滑槽內滑動連接有滑塊，所述滑塊連接有夾持晶圓的夾持件；所述環形固定圈處于所述滑槽位置處均勻設有刻度線；所述夾持件上設有紅外裝置，所述紅外裝置包括紅外線發射器以及紅外線接收器，相應紅外線發射器和紅外線接收器相對設置。

3.根據權利要求1所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述傳動組包括第一齒輪，所述第一齒輪與所述噴淋轉軸同軸連接，所述第一齒輪同軸連接有第二齒輪，所述第二齒輪嚙合有第三齒輪，所述第三齒輪與所述轉動桿同軸連接。

4.根據權利要求3所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述噴淋桿處于第二齒輪位置一側開設有用于放置第三齒輪的噴淋殼體，所述噴淋殼體固定連接在機架上。

5.根據權利要求3所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述第一齒輪與所述第二齒輪的傳動比為1：2～4，所述第二齒輪與所述第三齒輪的傳動比為1：1。

6.根據權利要求2所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述滑塊處于所述滑槽底部時，所述滑塊下表面所對應的水平線為0基準線。

7.根據權利要求2所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述滑槽的數量為4個，所述滑塊的數量為4個。

8.根據權利要求2所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，所述紅外線發射器的數量為2個，所述紅外線接收器的數量為2個，所述紅外裝置安裝在所述夾持件的底端；相對應的所述紅外線發射器與所述紅外線接收器采用直線對射設置。

9.根據權利要求2所述的一種拋光表面檢測裝置，其特征在于，當兩個所述紅外線接收器均接收到相對應所述紅外線發射器的信號時，化學機械拋光過程結束。