[實用新型]一種槽式硅片加工機臺

有效

• 申請號: 201921840700.6
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN210692495U
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 易書令;馬曉林;潘岳林;姜大俊;潘勵剛;鄭旭然
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯陽光能源科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種槽式硅片加工機臺，其特征在于，包括：

內槽(1)，所述內槽(1)被配為盛放硅片花籃；

外槽(2)，所述外槽(2)環繞所述內槽(1)設置，所述外槽(2)的上端面高于所述內槽(1)的上端面，所述外槽(2)上設有出液口(21)；

加熱裝置(3)，所述加熱裝置(3)包括加熱殼體(31)和配合在所述加熱殼體(31)內的加熱件(32)，所述加熱殼體(31)位于所述外槽(2)的外側，所述加熱殼體(31)具有液體進口(311)和液體出口(312)，所述液體進口(311)與所述出液口(21)相連，所述加熱件(32)的外側設有防腐蝕層(321)；

均液管(4)，所述均液管(4)設在所述內槽(1)內，所述均液管(4)上設有多個均液孔(41)和進液口(42)，所述進液口(42)與所述液體出口(312)相連。

2.根據權利要求1所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工機臺還包括溫度檢測件(5)，所述溫度檢測件(5)設在所述內槽(1)內，所述溫度檢測件(5)被配置為檢測所述內槽(1)的藥液溫度，所述溫度檢測件(5)與所述加熱件(32)電連接。

3.根據權利要求1所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工機臺還包括輸送泵(6)，所述輸送泵(6)設在所述出液口(21)與所述液體進口(311)之間。

4.根據權利要求3所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工機臺還包括第一液位傳感器(7)，所述第一液位傳感器(7)設在所述外槽(2)上，所述第一液位傳感器(7)被配置為檢測所述外槽(2)內的液面高度，所述第一液位傳感器(7)與所述輸送泵(6)電連接。

5.根據權利要求3所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工機臺還包括第二液位傳感器(8)，所述第二液位傳感器(8)設在所述加熱殼體(31)上，所述第二液位傳感器(8)被配置為檢測所述加熱殼體(31)內的液面高度，所述第二液位傳感器(8)與所述輸送泵(6)電連接。

6.根據權利要求5所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述第二液位傳感器(8)位于所述液體出口(312)的上方。

7.根據權利要求3所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工還包括分流管(9)和控制閥(101)，所述分流管(9)的一端連接在輸送泵(6)上，另一端與所述均液管(4)的所述均液孔(41)相連，所述分流管(9)上設有分流閥(91)；所述控制閥(101)設在所述均液管(4)與所述出液口(21)之間。

8.根據權利要求1所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述槽式硅片加工機臺還包括花籃支架(10)，所述花籃支架(10)設在所述內槽(1)內，所述花籃支架(10)被配置為支撐所述硅片花籃。

9.根據權利要求8所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，所述均液管(4)的兩端配合在所述花籃支架(10)上，所述均液管(4)與所述內槽(1)的底壁間隔設置。

10.根據權利要求1所述的槽式硅片加工機臺，其特征在于，多個所述均液孔(41)沿所述均液管(4)的長度方向均勻間隔分布。