[實用新型]一種用于搬運晶元的機器人

有效

• 申請號: 201921838161.2
• 申請日: 2019-10-29
• 公開（公告）號: CN211030003U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 占俊峰
• 申請（專利權）人: 江蘇托瑪斯機器人科技有限公司
• 主分類號: B25J9/12
• 分類號: B25J9/12;B25J9/14;B25J15/06
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 豐葉

本實用新型公開了一種用于搬運晶元的機器人，包括底座，所述底座內部安裝有電機，所述底座的頂端轉動安裝有轉盤，所述轉盤與電機的輸出端相連接，所述轉盤頂端安裝有升降氣缸，所述升降氣缸的伸縮端連接有安裝座，所述安裝座頂端固定設置有安裝板，所述安裝板的前端設置有水平移動機構，所述水平移動機構上安裝有第一吸附機構，所述第一吸附機構下方設置有第二吸附機構，本實用新型實現了晶元的翻轉搬運，整體結構較為簡單，易于實現，成本低廉，有利于提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及晶元生產技術領域，具體為一種用于搬運晶元的機器人。

背景技術

晶元是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶元；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產品。晶元的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。晶元在生產過程中，需要在各工位之間進行搬運，但是目前的搬運機構存在使用不便、無法翻轉晶元等問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于搬運晶元的機器人，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于搬運晶元的機器人，包括底座，所述底座內部安裝有電機，所述底座的頂端轉動安裝有轉盤，所述轉盤與電機的輸出端相連接，所述轉盤頂端安裝有升降氣缸，所述升降氣缸的伸縮端連接有安裝座，所述安裝座頂端固定設置有安裝板，所述安裝板的前端設置有水平移動機構，所述水平移動機構上安裝有第一吸附機構，所述第一吸附機構下方設置有第二吸附機構。

優選的，所述第一吸附機構包括水平移動板，所述水平移動板的前端固定安裝有第一氣缸，所述第一氣缸的伸縮端連接有第一安裝塊，所述第一安裝塊底端安裝有第一吸盤。

優選的，所述水平移動機構包括滑槽，所述滑槽內部轉動安裝有螺桿，所述滑槽的左端設置有驅動電機，所述驅動電機的輸出端與螺桿相連接，所述水平移動板的后端設置有第一滑塊，所述第一滑塊滑動設置在滑槽中，所述第一滑塊表面開設有與螺桿相對應的螺紋孔。

優選的，所述螺桿的上下兩側設置有對稱分布的導向桿，所述第一滑塊表面開設有與導向桿相對應的導向孔，所述導向孔中安裝有導向套。

優選的，所述第二吸附機構包括第二滑塊，所述第二滑塊上方設置有第二氣缸，所述第二氣缸固定安裝在安裝板上，所述第二氣缸的伸縮端與第二滑塊相連接，所述第二滑塊前端安裝有翻轉電機，所述翻轉電機的輸出端固定安裝有連接板，所述連接板底端固定設置有第二安裝塊，所述第二安裝塊底端安裝有第二吸盤。

優選的，所述安裝板的前端設置有滑軌，所述滑塊滑動安裝在滑軌上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：使用時，通過電機驅動安裝板旋轉，使吸附機構運動到晶元的正上方，升降氣缸調整裝置的整體高度，通過第二氣缸的伸長使第二吸盤靠近晶元，通過第二吸盤將晶元吸起，隨后第二氣缸縮短，翻轉電機驅動連接板旋轉°，此時晶元處于第二吸盤頂端，通過水平移動機構驅動第一吸盤運動到第二吸盤正上方，第二吸盤停止吸附，第一吸盤將晶元吸起，這樣就完成了晶元的翻轉，再通過水平移動機構驅動第一吸盤從第二吸附機構上方移開，電機驅動安裝板旋轉，升降氣缸調整高度，使得第一吸盤吸住晶元運動到下一工位上，從而完成晶元的翻轉與搬運過程。本實用新型實現了晶元的翻轉搬運，整體結構較為簡單，易于實現，成本低廉，有利于提高生產效率。

附圖說明

圖1為一種用于搬運晶元的機器人的結構示意圖；

圖2為一種用于搬運晶元的機器人中第二吸附機構的結構示意圖；

圖3為一種用于搬運晶元的機器人中第一滑塊的結構示意圖。