[實用新型]一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201921825350.6
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN210916235U
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 彭建;田琳;夏虎
• 申請（專利權）人: 北京泰科諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 趙曉琳

本實用新型公開了一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置，涉及離子鍍膜技術領域，包括引弧鉤、連接桿、波紋管、驅動裝置和密封絕緣件，離子鍍膜裝置的真空腔室側壁上設有安裝孔，密封絕緣件固定在安裝孔內并與安裝孔形成密封連接，驅動裝置的輸出軸穿過密封絕緣件并與連接桿的一端固定連接，驅動裝置能夠驅動連接桿沿軸向作往復運動，波紋管的一端與密封絕緣件的一端固定連接、另一端固定套設于連接桿外并與連接桿形成密封連接，連接桿穿過波紋管與引弧鉤固定連接；離子鍍膜裝置包括真空腔室和上述的離子鍍膜用引弧裝置。本實用新型中，驅動裝置帶動引弧鉤運動，作用力大，不易粘鉤，設置波紋管進行靜態密封，真空腔室密封性好、真空不易被破壞。

技術領域

本實用新型涉及離子鍍膜技術領域，特別是涉及一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置。

背景技術

在多弧離子鍍膜領域，常用的引弧裝置分為兩種，一種是線圈引弧的電動引弧裝置，通過線圈通電產生磁場來帶動引弧鉤運動，引弧成功后，線圈斷電并通過彈簧使引弧鉤復位，實現引弧鉤往復運動，此種方案雖能保證密封性，但線圈通電產生的磁場磁力較小，與之配合的彈簧彈力也較小，不僅使得引弧鉤的運動行程較短，而且極易因引弧發熱發生粘鉤現象，導致引弧鉤無法回彈，造成短路；另一種則是靠骨架油封密封的離子鍍膜用引弧裝置，向氣缸內通入壓縮空氣，由氣缸軸帶動引弧鉤作往復運動，此種方案雖然引弧鉤的行程長，離子鍍膜用動力大，不容易粘鉤，但是由與骨架油封密封是一種動態密封，氣缸軸與骨架油封長期摩擦，使得密封部位容易漏氣，破壞真空腔室內的真空。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置，以解決上述現有技術存在的問題，使引弧裝置不易粘鉤，真空腔室的密封性好、真空不易被破壞。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

本實用新型提供一種離子鍍膜用引弧裝置，包括引弧鉤、連接桿、波紋管、驅動裝置和密封絕緣件，離子鍍膜裝置的真空腔室側壁上設有一安裝孔，所述密封絕緣件用于設置固定在所述安裝孔內并與所述安裝孔形成密封連接，所述驅動裝置的輸出軸穿過所述密封絕緣件并與所述連接桿的一端固定連接，所述驅動裝置能夠驅動所述連接桿沿軸向作往復運動，所述波紋管的一端與所述密封絕緣件的一端固定連接，所述波紋管的另一端固定套設于所述連接桿外并與所述連接桿形成密封連接，所述連接桿穿過所述波紋管與所述引弧鉤固定連接。

優選的，所述驅動裝置固定設置在所述真空腔室側壁上。

優選的，所述驅動裝置為缸體固定式雙活塞桿雙作用氣缸，所述雙活塞桿雙作用氣缸的兩根活塞桿分別為第一活塞桿和第二活塞桿，所述第一活塞桿與所述連接桿固定連接，包括限位調節桿和限位擋塊，所述限位調節桿設有兩個，所述雙活塞桿雙作用氣缸的缸體靠近所述第一活塞桿的一端用于與真空腔室側壁固定連接，所述雙活塞桿雙作用氣缸的缸體靠近所述第二活塞桿的一端固定設置有兩個所述限位調節桿，所述限位擋塊的兩端分別套設在兩所述限位調節桿上并由固定裝置固定，所述限位擋塊用于限定所述第二活塞桿的移動距離。

優選的，所述密封絕緣件和所述缸體固定式雙活塞桿雙作用氣缸上用于與真空腔室側壁連接的一端均設有一凸緣，各所述凸緣通過同一固定螺栓與真空腔室側壁連接，所述密封絕緣件與真空腔室側壁的連接部上設有密封圈。

優選的，所述第二活塞桿包括主桿和延長桿，所述延長桿與所述主桿螺紋連接，旋進或旋出所述延長桿能夠調節所述第二活塞桿的長度。

優選的，所述密封絕緣件包括第一絕緣套、第二絕緣套和密封套，所述第一絕緣套固定套設在所述密封套外，所述波紋管與所述密封套的一端固定連接，所述第二絕緣套固定套設在所述波紋管與所述密封套的連接部外，且所述第二絕緣套能夠包覆所述密封套未被所述第一絕緣套覆蓋的部分。