[實(shí)用新型]一種離子鍍膜用引弧裝置及離子鍍膜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921825350.6
• 申請(qǐng)日: 2019-10-28
• 公開（公告）號(hào): CN210916235U
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭建;田琳;夏虎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京泰科諾科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 趙曉琳

1.一種離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：包括引弧鉤、連接桿、波紋管、驅(qū)動(dòng)裝置和密封絕緣件，離子鍍膜裝置的真空腔室側(cè)壁上設(shè)有一安裝孔，所述密封絕緣件用于設(shè)置固定在所述安裝孔內(nèi)并與所述安裝孔形成密封連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置的輸出軸穿過(guò)所述密封絕緣件并與所述連接桿的一端固定連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置能夠驅(qū)動(dòng)所述連接桿沿軸向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所述波紋管的一端與所述密封絕緣件的一端固定連接，所述波紋管的另一端固定套設(shè)于所述連接桿外并與所述連接桿形成密封連接，所述連接桿穿過(guò)所述波紋管與所述引弧鉤固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)裝置固定設(shè)置在所述真空腔室側(cè)壁上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)裝置為缸體固定式雙活塞桿雙作用氣缸，所述雙活塞桿雙作用氣缸的兩根活塞桿分別為第一活塞桿和第二活塞桿，所述第一活塞桿與所述連接桿固定連接，包括限位調(diào)節(jié)桿和限位擋塊，所述限位調(diào)節(jié)桿設(shè)有兩個(gè)，所述雙活塞桿雙作用氣缸的缸體靠近所述第一活塞桿的一端用于與真空腔室側(cè)壁固定連接，所述雙活塞桿雙作用氣缸的缸體靠近所述第二活塞桿的一端固定設(shè)置有兩個(gè)所述限位調(diào)節(jié)桿，所述限位擋塊的兩端分別套設(shè)在兩所述限位調(diào)節(jié)桿上并由固定裝置固定，所述限位擋塊用于限定所述第二活塞桿的移動(dòng)距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述密封絕緣件和所述缸體固定式雙活塞桿雙作用氣缸上用于與真空腔室側(cè)壁連接的一端均設(shè)有一凸緣，各所述凸緣通過(guò)同一固定螺栓與真空腔室側(cè)壁連接，所述密封絕緣件與真空腔室側(cè)壁的連接部上設(shè)有密封圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述第二活塞桿包括主桿和延長(zhǎng)桿，所述延長(zhǎng)桿與所述主桿螺紋連接，旋進(jìn)或旋出所述延長(zhǎng)桿能夠調(diào)節(jié)所述第二活塞桿的長(zhǎng)度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述密封絕緣件包括第一絕緣套、第二絕緣套和密封套，所述第一絕緣套固定套設(shè)在所述密封套外，所述波紋管與所述密封套的一端固定連接，所述第二絕緣套固定套設(shè)在所述波紋管與所述密封套的連接部外，且所述第二絕緣套能夠包覆所述密封套未被所述第一絕緣套覆蓋的部分。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：包括引弧鉤調(diào)節(jié)管和鎖緊環(huán)，所述引弧鉤固定設(shè)置在所述引弧鉤調(diào)節(jié)管的一端，所述引弧鉤調(diào)節(jié)管的另一端套接在所述連接桿上，所述引弧鉤調(diào)節(jié)管與所述連接桿連接的一端設(shè)有外螺紋，所述引弧鉤調(diào)節(jié)管與所述連接桿連接的一端沿軸向方向設(shè)有豁口，所述鎖緊環(huán)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述鎖緊環(huán)與所述引弧鉤連接桿螺紋連接,所述引弧鉤與所述引弧鉤調(diào)節(jié)管通過(guò)一螺栓固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：所述連接桿的一端沿軸向方向開有盲孔，所述盲孔設(shè)有內(nèi)螺紋，所述第一活塞桿的自由端設(shè)有外螺紋，所述連接桿與所述第一活塞桿通過(guò)所述內(nèi)螺紋和所述外螺紋固定連接,所述第一活塞桿的自由端上設(shè)有鎖緊螺母，所述鎖緊螺母能夠防止所述連接桿與所述第一活塞桿之間發(fā)生沿軸向方向的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子鍍膜用引弧裝置，其特征在于：包括波紋管推板，所述波紋管推板固定設(shè)置在所述連接桿上且位于所述波紋管的外側(cè),所述波紋管推板與所述波紋管接觸。

10.一種離子鍍膜裝置，其特征在于：包括真空腔室和權(quán)利要求1～9任意一項(xiàng)所述的離子鍍膜用引弧裝置，所述離子鍍膜用引弧裝置固定設(shè)置在所述真空腔室側(cè)壁上。