[實用新型]一種半導體設備移動支撐裝置

有效

• 申請號: 201921816443.2
• 申請日: 2019-10-28
• 公開（公告）號: CN210879616U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 劉山林
• 申請（專利權）人: 山東光弘半導體有限公司
• 主分類號: B25H5/00
• 分類號: B25H5/00;B25B11/00
• 代理公司: 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104
• 代理人: 張清東

本實用新型屬于半導體設備技術領域，具體涉及一種半導體設備移動支撐裝置；其主體結構包括支撐板、滾輪和滑動塊；所述支撐板底部設置有滾輪；支撐板上方一側開設有與滑動塊配合使用的滑槽；所述滑動塊包括兩個，均與支撐板通過第一定位銷連接；支撐板上方另一側開設有若干個第一定位孔；所述每個滑動塊靠近第一定位孔的一側均固定連接有L型擋板；兩個L型擋板對稱設置；本實用新型通過在支撐板上設置滑槽，使得滑動塊能夠帶動擋板在滑槽中移動，以調整兩擋板之間的距離，以及若干個第一定位孔的配合設置，使本實用新型在方便移動的基礎上，能夠保證半導體設備的穩固性，并能夠適用于不同規格的半導體設備，提高安全性能，操作靈活方便。

技術領域

本實用新型屬于半導體設備技術領域，具體涉及一種半導體設備移動支撐裝置。

背景技術

半導體設備通常會被放置在凈化室中，但半導體設備種類繁多，且半導體設備重量較重，不方便移動，中國專利CN201721845059.6公開了一種半導體設備移動支撐裝置，包括支撐平板、滾珠法蘭和滾珠組成。所述的滾珠與滾珠法蘭相連；所述的支撐平板與多個滾珠法蘭相連。支撐平板一面與多個滾珠法蘭相連，另一面用于支撐半導體設備；滾珠放入滾珠法蘭內部圓槽內，通過螺釘固定在滾珠法蘭和支撐平板之間。根據需移動設備重量不同，可增加或減少支撐平板上固定的滾珠數量。本實用新型優點：設備結構簡單，易于安裝，靈活小巧，可承載較重的半導體設備。但是當移動支撐裝置快速移動時，半導體設備的穩固性難以保證，因此，有必要設計一種方便移動，且能加對強半導體設備穩固性的移動支撐裝置。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于克服現有技術存在的缺點，提出設計一種半導體設備移動支撐裝置。

本實用新型涉及的一種半導體設備移動支撐裝置，其主體結構包括支撐板、滾輪和滑動塊；所述支撐板底部設置有滾輪；支撐板上方一側開設有與滑動塊配合使用的滑槽；所述滑動塊包括兩個，均與支撐板通過第一定位銷連接；支撐板上方另一側開設有若干個第一定位孔；所述每個滑動塊靠近第一定位孔的一側均固定連接有L型擋板；兩個L型擋板對稱設置。

優選的，所述的滑動塊為工字型結構，包括一體成型的底板、連接板和頂板；所述滑槽內部兩側開設有與底板匹配使用的凹槽；連接板位于滑槽內，連接板的高度與滑槽的高度相同，頂板位于支撐板上方，與擋板固定連接；本實施例的結構設置使得滑動塊恰好能夠在和滑槽中滑動。

優選的，所述的擋板上設置有固定板；所述固定板和所述頂板上均開設有通孔，所述兩個通孔同軸設置；所述支撐板上設置有若干個與所述兩個通孔匹配使用的第二定位孔；所述第一定位銷依次穿過兩個通孔置于第二定位孔內，從而將滑動塊的位置固定。

優選的，所述的兩個通孔及第二定位孔均帶有內螺紋，所述第一定位銷帶有與內螺紋匹配的外螺紋，增加滑動塊的穩定性。

優選的，所述的擋板上端均為弧形結構，以防止對半導體設備造成剮蹭等損壞。

優選的，所述的第一定位孔內內置有第二定位銷。

本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：本實用新型通過在支撐板上設置滑槽，使得滑動塊能夠帶動擋板在滑槽中移動，以調整兩擋板之間的距離，以及若干個第一定位孔的配合設置，使本實用新型在方便移動的基礎上，能夠保證半導體設備的穩固性，并能夠適用于不同規格的半導體設備，提高安全性能，操作靈活方便。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結構原理示意圖；

圖2為本實用新型A部結構放大圖；

圖3為本實用新型滑動塊結構放大圖；

其中，支撐板1、滾輪2、滑動塊3、滑槽4、第一定位銷5、第一定位孔6、擋板7、凹槽8、固定板9、通孔10、第二定位孔11、第二定位銷12、底板301、連接板302、頂板303。