[實用新型]一種用于濺射靶材翹曲度自動校正與測量的裝置

有效

• 申請號: 201921815359.9
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN210464388U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 黃祖杰;陳欽忠;陳錦燁
• 申請（專利權）人: 福建阿石創新材料股份有限公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16;C23C14/34
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 劉瀟

本實用新型公開一種用于濺射靶材翹曲度自動校正與測量的裝置，校正平臺安裝在設備底座上方，主油缸系統包括主油缸支架和滑動安裝在主油缸支架上的主油缸，主油缸支架通過第一運動驅動機構安裝在設備底座上；靶材頂出油缸系統包括兩個以上靶材頂出油缸，各靶材頂出油缸分別通過一第二運動驅動機構安裝在設備底座上，校正平臺上表面對應每個靶材頂出油缸分別開設一用于靶材頂出油缸頂部伸出并滑移的頂出油缸滑槽；主油缸的側面和校正平臺的下方分別安裝一靶材翹曲度激光測量儀。本實用新型不僅結構簡單、靶材翹曲度校正與測量效率高、安全性強，而且實現了靶材翹曲度的高精度自動校正與檢測，實用性強。

技術領域

本實用新型涉及濺射靶材制造裝備領域，特別是涉及一種用于濺射靶材翹曲度自動校正與測量的裝置。

背景技術

濺射靶材一般采用焊合工藝將靶坯與背板粘結在一起，背板的材質一般為無氧銅，而靶坯的材質有很多種，比如高純鋁、鉬、銅、鈦、ITO(氧化銦錫)等。由于靶坯與背板的熱膨脹系數不同，在靶材焊合加熱過程中，靶材會出現不同程度的翹曲；以G8.5代長條鉬靶材為例，在25℃～500℃范圍內，鉬的熱膨脹系數為5.8×10^-6/℃，而銅的熱膨脹系數為17.6×10^-6/℃。這款靶材靶坯長度為2650mm，背板長度為3070mm，焊合溫度為180℃，計算得出：靶坯與背板在焊合狀態時，靶坯會被拉長2.77mm，而背板會被拉長9.73mm，在靶材焊合完成冷卻過程中，背板收縮量大于靶坯的收縮量，因此，整片靶材便會向上拱起，最高拱起高度可達30mm。然而，主機廠客戶對靶材翹曲度一般要求為-2～+1mm，所以需要對因焊合變形拱起的靶材進行校正，使其翹曲度符合規定的要求。

目前，濺射靶材制造企業一般采用手工方式對靶材翹曲度進行校正與測量。其方法是，將靶材通過行車(或其他吊具)移動并放置到靶材校正專用平臺上，在靶材邊緣下方放入墊塊(可以是硬木塊或者鐵氟龍)將靶材支撐起來。在校正平臺上方，有一個可移動的支架，把這個支架移動到靶材中心位置，然后將千斤頂放入靶材與支架橫桿中間，利用千斤頂的力量在靶材最高拱起點將靶材下壓，下壓到靶材翹曲度在-5mm(經驗值)左右，保壓4～5小時之后，松開千斤頂，靶材開始向上反彈。待靶材反彈穩定之后，使用普通(或數顯)楔形塞尺測量靶材翹曲度。如果翹曲度不符合要求，則重復上述過程，根據實際翹曲度大小，調整下壓值與保壓時間，使靶材翹曲度最終達到規定的要求。

然而，不可避免，上述靶材翹曲度手工校正與測量存在效率低、安全性差、測量精度不佳等問題，實用性差。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、靶材翹曲度校正與測量效率高、測量精度精度高、安全性強的用于濺射靶材翹曲度自動校正與測量的裝置。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

本實用新型提供一種用于濺射靶材翹曲度自動校正與測量的裝置，包括校正平臺、設備底座、主油缸系統、靶材頂出油缸系統和靶材翹曲度激光測量儀，所述校正平臺安裝在所述設備底座上方，所述主油缸系統包括主油缸支架和滑動安裝在所述主油缸支架上的主油缸，所述主油缸位于所述校正平臺上方，所述主油缸支架通過第一運動驅動機構可移動地安裝在所述設備底座上；所述靶材頂出油缸系統包括兩個以上靶材頂出油缸，各所述靶材頂出油缸分別通過一第二運動驅動機構可移動地安裝在所述設備底座上，所述校正平臺上表面對應每個所述靶材頂出油缸分別開設一用于所述靶材頂出油缸頂部伸出并滑移的頂出油缸滑槽；所述主油缸的側面和所述校正平臺的下方分別安裝一所述靶材翹曲度激光測量儀。

可選的，所述校正平臺上還可拆卸安裝有至少兩個靶材定位塊，所述靶材定位塊的用于與靶材接觸的定位面上設置有倒角。

可選的，所述主油缸上安裝有數控伺服比例閥，所述數控伺服比例閥能夠根據靶材初始翹曲度的不同，自動控制所述主油缸下壓的壓力與距離。

可選的，各所述靶材頂出油缸上分別安裝一數控伺服比例閥，所述數控伺服比例閥能夠控制所述靶材頂出油缸的頂出高度。