[實(shí)用新型]一種用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921815359.9
• 申請(qǐng)日: 2019-10-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210464388U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃祖杰;陳欽忠;陳錦燁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建阿石創(chuàng)新材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16;C23C14/34
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 劉瀟

1.一種用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：包括校正平臺(tái)、設(shè)備底座、主油缸系統(tǒng)、靶材頂出油缸系統(tǒng)和靶材翹曲度激光測(cè)量?jī)x，所述校正平臺(tái)安裝在所述設(shè)備底座上方，所述主油缸系統(tǒng)包括主油缸支架和滑動(dòng)安裝在所述主油缸支架上的主油缸，所述主油缸位于所述校正平臺(tái)上方，所述主油缸支架通過(guò)第一運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地安裝在所述設(shè)備底座上；所述靶材頂出油缸系統(tǒng)包括兩個(gè)以上靶材頂出油缸，各所述靶材頂出油缸分別通過(guò)一第二運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地安裝在所述設(shè)備底座上，所述校正平臺(tái)上表面對(duì)應(yīng)每個(gè)所述靶材頂出油缸分別開(kāi)設(shè)一用于所述靶材頂出油缸頂部伸出并滑移的頂出油缸滑槽；所述主油缸的側(cè)面和所述校正平臺(tái)的下方分別安裝一所述靶材翹曲度激光測(cè)量?jī)x。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述校正平臺(tái)上還可拆卸安裝有至少兩個(gè)靶材定位塊，定位時(shí)所述靶材定位塊的接觸面與靶材的接觸面之間保持10°～15°的斜角。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述主油缸上安裝有數(shù)控伺服比例閥，所述數(shù)控伺服比例閥能夠根據(jù)靶材初始翹曲度的不同，自動(dòng)控制所述主油缸下壓的壓力與距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：各所述靶材頂出油缸上分別安裝一數(shù)控伺服比例閥，所述數(shù)控伺服比例閥能夠控制所述靶材頂出油缸的頂出高度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述靶材頂出油缸包括兩個(gè)長(zhǎng)條靶頂出油缸和四個(gè)方形靶頂出油缸；兩個(gè)所述長(zhǎng)條靶頂出油缸在所述校正平臺(tái)的長(zhǎng)度方向上對(duì)稱設(shè)置，與兩個(gè)所述長(zhǎng)條靶頂出油缸對(duì)應(yīng)的兩個(gè)所述頂出油缸滑槽位于所述校正平臺(tái)的長(zhǎng)度方向軸線上；四個(gè)所述方形靶頂出油缸以所述長(zhǎng)度方向軸線的中點(diǎn)為中心呈放射狀分布，各所述方形靶頂出油缸對(duì)應(yīng)的各所述頂出油缸滑槽兩兩對(duì)稱設(shè)置，且每相對(duì)兩個(gè)所述頂出油缸滑槽位于同一斜直線上，兩條所述斜直線相交于所述長(zhǎng)度方向軸線的中點(diǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：兩條所述斜直線與所述長(zhǎng)度方向軸線之間形成的銳角夾角均為38°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述主油缸支架包括兩個(gè)支撐架、連接在兩個(gè)所述支撐架之間的第一滾珠絲桿以及配置在所述第一滾珠絲桿上的第一滾珠螺母，所述第一滾珠絲桿的一端連接第一電機(jī)減速機(jī)，所述主油缸安裝在所述第一滾珠螺母上；兩個(gè)所述支撐架分別通過(guò)一所述第一運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)稱安裝在所述校正平臺(tái)的兩側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述第一運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二滾珠絲桿、連接于所述第二滾珠絲桿一端的第二電機(jī)減速機(jī)以及配置在所述第二滾珠絲桿上的第二滾珠螺母，所述第二滾珠絲桿沿所述校正平臺(tái)的長(zhǎng)度方向水平安裝，所述支撐架安裝在所述第二滾珠螺母上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述第二運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第三滾珠絲桿、連接于所述第三滾珠絲桿一端的伺服電機(jī)以及配置在所述第三滾珠絲桿上的第三滾珠螺母，各根所述第三滾珠絲桿分別沿對(duì)應(yīng)所述頂出油缸滑槽的延伸方向水平安裝，且每根所述第三滾珠絲桿的一側(cè)分別配置有直線導(dǎo)軌。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于濺射靶材翹曲度自動(dòng)校正與測(cè)量的裝置，其特征在于：所述校正平臺(tái)為矩形校正平臺(tái)，所述矩形校正平臺(tái)的四周分別設(shè)置一所述定位塊。