[實(shí)用新型]固定裝置及檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921810601.3
• 申請(qǐng)日: 2019-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN211565606U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范鐸;張鵬斌;張嵩;李海衛(wèi);陳魯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技有限公司
• 主分類號(hào): B25B11/00
• 分類號(hào): B25B11/00;G01D5/32
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 周曉

本實(shí)用新型公開了一種固定裝置及檢測(cè)設(shè)備，所述固定裝置包括具包括：固定盤，具有用于固定待支撐物的盤面，所述盤面包括用于承載待支撐物的承載區(qū)；夾持機(jī)構(gòu)，包括用于為所述待支撐物提供夾持固定力的夾持固定柱和至少兩個(gè)定位柱，所述定位柱通過其一端可拆卸地連接于所述固定盤，并在所述固定盤的盤面上沿承載區(qū)邊緣分布；所述夾持固定柱可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置于所述固定盤，其能夠在第一位置和第二位置之間移動(dòng)；在第一位置所述夾持固定柱處于所述定位柱的分布圓周上；在第二位置，所述夾持固定柱處于所述定位柱的分布圓周的外側(cè)。該裝置可以通過邊緣夾持的方式固定待支撐物，且在固定時(shí)可避免損傷待支撐物。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是在晶圓生產(chǎn)、檢測(cè)過程中用于對(duì)晶圓進(jìn)行固定的裝置。本實(shí)用新型還涉及設(shè)有所述晶圓固定裝置的晶圓檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，在晶圓檢測(cè)設(shè)備的工作過程中，需要由機(jī)械臂將晶圓從放置晶圓的片盒中取出，放置到晶圓固定裝置上，而后采用真空或靜電吸附等方式使晶圓固定于晶圓固定裝置上。

對(duì)于常規(guī)晶圓(其背面可接觸)多采用真空吸附等方式將晶圓固定于晶圓固定裝置上，對(duì)于特殊需求晶圓(如晶圓正面與背面均完全不可接觸，或只允許接觸背面外徑微小范圍)則需要采用特殊固定方式固定，主要有自摩擦和伯努利兩種固定方式。

對(duì)于自摩擦固定方式，在固定時(shí)需要接觸晶圓背面局部微小區(qū)域，利用橡膠材質(zhì)與晶圓之間的摩擦力來起到固定晶圓的作用，此方式受限于摩擦力所以在檢測(cè)速度方面會(huì)受到一定影響，并且橡膠固定件與晶圓之間有灰塵等污染會(huì)對(duì)固定能力產(chǎn)生一定的影響。另外，橡膠老化會(huì)影響固定精度和可靠性，也是必須考慮的問題。

對(duì)于伯努利固定方式，單純的伯努利固定利用伯努利原理開發(fā)，無需真空發(fā)生器，采用氣旋方式將產(chǎn)品無接觸式吸取，由于其在晶圓運(yùn)動(dòng)方向沒有固定約束，所以在檢測(cè)速度方面會(huì)受到很大影響，對(duì)此，業(yè)內(nèi)多采用邊緣限位或背部輔助固定的方式，但這樣又會(huì)使得一些特殊需求晶圓無法使用。另外，此種方式對(duì)晶圓固定的穩(wěn)定性較難保證。

上述兩種固定方式在某些特定實(shí)施中均存在局限性，導(dǎo)致在晶圓后續(xù)加工及檢測(cè)過程中存在不確定因素或效率降低的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種固定裝置。該裝置可以通過邊緣夾持的方式固定待支撐物，在固定時(shí)可避免損傷待支撐物。

本實(shí)用新型的另一目的是提供一種設(shè)有所述固定裝置的檢測(cè)設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種固定裝置，包括：

固定盤，具有用于固定待支撐物的盤面，所述盤面包括用于承載待支撐物的承載區(qū)；

夾持機(jī)構(gòu)，包括用于為所述待支撐物提供夾持固定力的夾持固定柱和至少兩個(gè)定位柱，所述定位柱通過其一端可拆卸地連接于所述固定盤，并在所述固定盤的盤面上沿承載區(qū)邊緣分布；

所述夾持固定柱可運(yùn)動(dòng)地設(shè)置于所述固定盤，其能夠在第一位置和第二位置之間移動(dòng)；在第一位置所述夾持固定柱處于所述定位柱的分布圓周上；在第二位置，所述夾持固定柱處于所述定位柱的分布圓周的外側(cè)。

優(yōu)選地，還包括：支撐柱，所述支撐柱用于為所述待支撐物提供支撐力，所述夾持固定力的方向與所述支撐力的方向相交，所述支撐柱和定位柱在所述固定盤的盤面上沿圓周方向分布。

優(yōu)選地，所述定位柱還可用于為所述待支撐物提供支撐力。

優(yōu)選地，所述定位柱的一端設(shè)有用于對(duì)待支撐物進(jìn)行徑向定位的定位面，所述定位柱設(shè)有定位面的一端設(shè)有第一支撐面第二支撐面，所述支撐柱的一端設(shè)有第二支撐面，所述第一支撐面和第二支撐面用于從待支撐物邊緣對(duì)待支撐物進(jìn)行支撐第二支撐面。

優(yōu)選地，所述定位柱的第一支撐面和支撐柱的第二支撐面位于同一平面。