[實用新型]一種干涉式激光波長測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921807017.2
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN210571045U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘俊濤;張巍巍;張鵬輝;肖巖
• 申請（專利權(quán)）人: 北方民族大學(xué)
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590
• 代理人: 張玲;王瑩瑩

本實用新型涉及一種干涉式激光波長測量裝置，包括：已知激光光學(xué)組件，用于發(fā)射已知激光束并實現(xiàn)干涉測量，得到參考的干涉數(shù)據(jù)；待測激光光學(xué)組件，用于對待測激光束實現(xiàn)干涉測量，并參照已知激光光學(xué)組件得到的干涉數(shù)據(jù)，計算得到待測激光束的波長；第一直角反射鏡、與第一直角反射鏡平行設(shè)置的第二直角反射鏡，且第二直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)與第一直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)相對，所述已知激光光學(xué)組件發(fā)射的已知激光束和待測激光光學(xué)組件發(fā)射的待測激光束在第一直角反射鏡和第二直角反射鏡之間進行多次反射。只要利用一束已知波長的激光束，即可通過本裝置得到任何待測激光束的波長，且本裝置操作簡便，計算得到的待測激光束波長精度也高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及測量儀器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種干涉式激光波長測量裝置。

背景技術(shù)

激光干涉儀的測量精度與其激光波長的精度直接相關(guān)，傳統(tǒng)對于未知波長的激光的測量很麻煩，并且不準確，對激光波長的精度要求難以得到保證。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于改善現(xiàn)有技術(shù)中所存在的不足，提供一種干涉式激光波長測量裝置，使用已知激光束得到的干涉現(xiàn)場為參考，得到待測激光束的波長。

為了實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型實施例提供了以下技術(shù)方案：

一種干涉式激光波長測量裝置，包括：

已知激光光學(xué)組件，用于發(fā)射已知激光束并實現(xiàn)干涉測量，得到參考的干涉數(shù)據(jù)；

待測激光光學(xué)組件，用于對待測激光束實現(xiàn)干涉測量，并參照已知激光光學(xué)組件得到的干涉數(shù)據(jù)，計算得到待測激光束的波長；

第一直角反射鏡、與第一直角反射鏡平行設(shè)置的第二直角反射鏡，且第二直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)與第一直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)相對，所述已知激光光學(xué)組件發(fā)射的已知激光束和待測激光光學(xué)組件發(fā)射的待測激光束在第一直角反射鏡和第二直角反射鏡之間進行多次反射。

本實用新型使用已知激光束，通過增大光程差的方法，得到已知激光束的干涉數(shù)據(jù)，作為參考干涉數(shù)據(jù)，使待測激光束也增大與已知激光束相同的光程差變化量，再根據(jù)參考干涉數(shù)據(jù)，得到待測激光束的波長。

更進一步地，為了更好的實現(xiàn)本實用新型，所述已知激光光學(xué)組件包括：

已知激光源，用于發(fā)射已知激光束；

第一分光鏡，用于接收已知激光源發(fā)射的已知激光源，并將接收到的已知激光束透射至第一聚光透鏡，以及反射至第一直角反射鏡；

第一聚光透鏡，用于接收第一分光鏡透射的已知激光束，以及第二直角反射鏡反射的已知激光束，并將接收到的已知激光束透射至第一光電探測器；

第一光電探測器，用于接收第一聚光透鏡透射的已知激光束；

第一處理器，用于檢測第一光電探測器上產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，并得到參考干涉數(shù)據(jù)。

更進一步地，為了更好的實現(xiàn)本實用新型，所述待測激光光學(xué)組件包括：

第二分光鏡，用于接收待測激光束，并將接收到的待測激光束透射至第二聚光透鏡，以及反射至第一直角反射鏡；

第二聚光透鏡，用于接收第二分光鏡透射的待測激光束，以及第二直角反射鏡反射的待測激光束，并將接收到的待測激光束透射至第二光電探測器；

第二光電探測器，用于接收第二聚光透鏡透射的待測激光束；

第二處理器，用于檢測第二光電探測器上產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，并根據(jù)已知激光光學(xué)組件得到的干涉數(shù)據(jù)，計算得到待測激光束的波長。