[實用新型]一種干涉式激光波長測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921807017.2
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN210571045U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘俊濤;張巍巍;張鵬輝;肖巖
• 申請（專利權(quán)）人: 北方民族大學(xué)
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京市領(lǐng)專知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11590
• 代理人: 張玲;王瑩瑩

1.一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：包括：

已知激光光學(xué)組件，用于發(fā)射已知激光束并實現(xiàn)干涉測量，得到參考的干涉數(shù)據(jù)；

待測激光光學(xué)組件，用于對待測激光束實現(xiàn)干涉測量，并參照已知激光光學(xué)組件得到的干涉數(shù)據(jù)，計算得到待測激光束的波長；

第一直角反射鏡、與第一直角反射鏡平行設(shè)置的第二直角反射鏡，且第二直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)與第一直角反射鏡的反射結(jié)構(gòu)相對，所述已知激光光學(xué)組件發(fā)射的已知激光束和待測激光光學(xué)組件發(fā)射的待測激光束在第一直角反射鏡和第二直角反射鏡之間進(jìn)行多次反射。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：

所述已知激光光學(xué)組件包括：

已知激光源，用于發(fā)射已知激光束；

第一分光鏡，用于接收已知激光源發(fā)射的已知激光源，并將接收到的已知激光束透射至第一聚光透鏡，以及反射至第一直角反射鏡；

第一聚光透鏡，用于接收第一分光鏡透射的已知激光束，以及第二直角反射鏡反射的已知激光束，并將接收到的已知激光束透射至第一光電探測器；

第一光電探測器，用于接收第一聚光透鏡透射的已知激光束；

第一處理器，用于檢測第一光電探測器上產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，并得到參考干涉數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：

所述待測激光光學(xué)組件包括：

第二分光鏡，用于接收待測激光束，并將接收到的待測激光束透射至第二聚光透鏡，以及反射至第一直角反射鏡；

第二聚光透鏡，用于接收第二分光鏡透射的待測激光束，以及第二直角反射鏡反射的待測激光束，并將接收到的待測激光束透射至第二光電探測器；

第二光電探測器，用于接收第二聚光透鏡透射的待測激光束；

第二處理器，用于檢測第二光電探測器上產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象，并根據(jù)已知激光光學(xué)組件得到的干涉數(shù)據(jù)，計算得到待測激光束的波長。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：

所述一種干涉式激光波長測量裝置設(shè)置于殼體內(nèi)，且所述已知激光光學(xué)組件、待測激光光學(xué)組件、第一直角反射鏡均相對于殼體固定，所述第二直角反射鏡在其豎直方向上移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：所述殼體內(nèi)設(shè)置有黑色吸光材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：所述第二直角反射鏡連接有精密位移裝置，所述精密位移裝置帶動第二直角反射鏡在其豎直方向上移動。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的一種干涉式激光波長測量裝置，其特征在于：所述第一直角反射鏡包括N組反射結(jié)構(gòu)，第二直角反射鏡包括M組反射結(jié)構(gòu)，且第一直角反射鏡和第二直角反射鏡所包含的反射結(jié)構(gòu)相同。