[實(shí)用新型]激光退火光路模組及退火裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921806064.5
• 申請日: 2019-10-23
• 公開（公告）號: CN210837652U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張董潔;謝圣君;王昌焱;徐新峰;房用橋;王習(xí)文;潘明錚;孫玉芬;邢沐悅;呂啟濤;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/268
• 分類號: H01L21/268
• 代理公司: 深圳眾鼎專利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙) 44325
• 代理人: 譚果林

1.激光退火光路模組，其特征在于：包括底座、第一調(diào)整支架、第二調(diào)整支架、第一調(diào)整框架、第二調(diào)整框架、鏡框、透鏡和反射鏡；

所述透鏡安裝于所述鏡框內(nèi)，所述鏡框豎向可調(diào)節(jié)地設(shè)于所述第一調(diào)整框架內(nèi)；所述第一調(diào)整框架安裝于所述第一調(diào)整支架上，所述第一調(diào)整框架能夠可調(diào)節(jié)地繞第一軸和第二軸轉(zhuǎn)動，所述第一軸與所述第二軸垂直，所述第一調(diào)整支架安裝于所述底座上；

所述反射鏡安裝于所述第二調(diào)整框架內(nèi)，所述第二調(diào)整框架安裝于所述第二調(diào)整支架上，所述第二調(diào)整框架能夠可調(diào)節(jié)地繞第三軸和第四軸轉(zhuǎn)動，所述第三軸和所述第四軸垂直，所述第二調(diào)整支架安裝于所述底座上；

所述透鏡和所述反射鏡用于將激光器發(fā)射的激光導(dǎo)向待退火產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火光路模組，其特征在于：所述第一調(diào)整支架上設(shè)有第一調(diào)節(jié)孔、第二調(diào)節(jié)孔、第一定位孔和多個(gè)第一連接孔，所有所述第一連接孔分布于所述第一軸和所述第二軸上，所述第一定位孔設(shè)于所述第一軸與所述第二軸的相交處；

所述第一調(diào)整框架上設(shè)有豎向延伸的調(diào)距孔和與所述第一連接孔對應(yīng)的第二連接孔，所述第一調(diào)整支架和所述第一調(diào)整框架通過穿設(shè)于所述第一連接孔和所述第二連接孔內(nèi)的第一固定螺絲連接，所述第一固定螺絲上套設(shè)有第一彈簧，所述第一彈簧用于帶動所述第一調(diào)整支架靠近所述第一調(diào)整框架；

所述第一調(diào)節(jié)孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第一調(diào)整框架的第一調(diào)節(jié)頂絲，所述第二調(diào)節(jié)孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第一調(diào)整框架的第二調(diào)節(jié)頂絲，所述第一定位孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第一調(diào)整框架的第一定位頂絲，所述調(diào)距孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述鏡框的豎向調(diào)節(jié)頂絲。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光退火光路模組，其特征在于：所述第一調(diào)整框架上設(shè)有與所述第一調(diào)節(jié)孔對應(yīng)的第一盲孔、與所述第二調(diào)節(jié)孔對應(yīng)的第二盲孔和與所述第一定位孔對應(yīng)的第二定位孔；

所述第一調(diào)節(jié)頂絲伸入所述第一盲孔，所述第二調(diào)節(jié)頂絲伸入所述第二盲孔，所述第一定位頂絲伸入所述第二定位孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火光路模組，其特征在于：所述第一調(diào)整支架包括第一支撐板和安裝于所述底座上的第一支座，所述第一支撐板上設(shè)有第一安裝孔，所述第一支撐板與所述第一支座通過穿設(shè)于所述第一安裝孔和所述第一支座的第一緊固螺絲連接，處于擰松狀態(tài)的所述第一緊固螺絲能夠沿第一水平方向滑動；

所述第一調(diào)整框架安裝于所述第一支撐板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光退火光路模組，其特征在于：所述第一支座上設(shè)有第二安裝孔，所述第一支座和所述底座通過穿設(shè)于所述第二安裝孔和所述底座的第二緊固螺絲連接，處于擰松狀態(tài)的所述第二緊固螺絲能夠沿第二水平方向滑動；

所述第一水平方向與所述第二水平方向垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光退火光路模組，其特征在于：所述第二調(diào)整支架上設(shè)有第三調(diào)節(jié)孔、第四調(diào)節(jié)孔、第三定位孔和多個(gè)第三連接孔，所有所述第三連接孔分布于所述第三軸和所述第四軸上，所述第三定位孔設(shè)于所述第三軸與所述第四軸的相交處；

所述第二調(diào)整框架上與所述第三連接孔對應(yīng)的第四連接孔，所述第二調(diào)整支架和所述第二調(diào)整框架通過穿設(shè)于所述第三連接孔和所述第四連接孔內(nèi)的第二固定螺絲連接，所述第二固定螺絲上套設(shè)有第二彈簧，所述第二彈簧用于帶動所述第二調(diào)整支架靠近所述第二調(diào)整框架；

所述第三調(diào)節(jié)孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第二調(diào)整框架的第三調(diào)節(jié)頂絲，所述第四調(diào)節(jié)孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第二調(diào)整框架的第四調(diào)節(jié)頂絲，所述第三定位孔內(nèi)穿設(shè)有用于抵接所述第二調(diào)整框架的第二定位頂絲。