[實(shí)用新型]一種緩存平臺(tái)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921802541.0
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號(hào): CN211238185U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉群;龐愛鎖;林佳繼;林依婷
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市拉普拉斯能源技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/677;H01L21/66;H01L21/68
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

一種緩存平臺(tái)，包括放置平臺(tái)以及設(shè)于放置平臺(tái)四周的支撐柱；放置平臺(tái)被配置為暫存石英花籃，支撐柱用于石英花籃的導(dǎo)向，確保石英花籃放置于放置平臺(tái)內(nèi)，支撐柱至少有四個(gè)，分布于放置平臺(tái)的四周；本實(shí)用新型的緩存平臺(tái)解決了光伏、半導(dǎo)體材料在實(shí)際生產(chǎn)中，流水線上空余石英花籃資源浪費(fèi)的問題，提高了加工效率；支撐柱用于石英花籃的導(dǎo)向，確保石英花籃放位精準(zhǔn)，放置于放置平臺(tái)內(nèi)；檢測裝置能夠區(qū)別放置平臺(tái)上是否有石英花籃，方便裝置的自動(dòng)化控制；各個(gè)零件的可拆卸設(shè)計(jì)，方便裝置的運(yùn)輸以及組裝。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體/光伏材料加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于對(duì)調(diào)兩條流水線上石英花籃的緩存平臺(tái)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體或光伏材料廣泛應(yīng)用于電子、新能源等行業(yè)，半導(dǎo)體和光伏材料通常都需要經(jīng)過加工處理才能夠應(yīng)用到產(chǎn)品上，CVD技術(shù)、擴(kuò)散工藝或氧化工藝是其中的一種處理方式，其中CVD即化學(xué)氣相沉積，CVD技術(shù)目前已經(jīng)廣泛用于半導(dǎo)體或光伏材料加工，常見的加工設(shè)備有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外還有擴(kuò)散工藝包括磷擴(kuò)散、硼擴(kuò)散等，在半導(dǎo)體或光伏材料的熱擴(kuò)散工藝流程中，經(jīng)常需要通過機(jī)械手對(duì)兩條流水線上加工完的半導(dǎo)體/光伏材料與未加工的半導(dǎo)體/光伏材料進(jìn)行對(duì)調(diào)，由于加工完和未加工的舟托上，能夠放置的花籃數(shù)量是相同的，那么在對(duì)調(diào)的過程中必然會(huì)存在有一個(gè)花籃需要臨時(shí)置于舟托之外，否則在流程上就無法實(shí)現(xiàn)，因此需要有一個(gè)單個(gè)花籃的臨時(shí)存儲(chǔ)位，如果這個(gè)臨時(shí)存儲(chǔ)位設(shè)置在舟托上，那么舟托體積變大，但是承載能力并未增加，這樣的設(shè)計(jì)會(huì)造成空間資源的浪費(fèi)，且在熱擴(kuò)散工藝過程中始終有一個(gè)石英花籃內(nèi)是空的，降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種緩存平臺(tái)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是一種緩存平臺(tái)，包括放置平臺(tái)以及設(shè)于放置平臺(tái)四周的支撐柱；

放置平臺(tái)被配置為暫存石英花籃，支撐柱用于石英花籃的導(dǎo)向，確保石英花籃放置于放置平臺(tái)內(nèi)。

作為優(yōu)選，支撐柱至少有四個(gè)，分布于放置平臺(tái)的四周。

作為優(yōu)選，支撐柱與放置平臺(tái)貼緊，支撐柱上設(shè)有斜面，在石英花籃放置過程中，支撐柱上的斜面能夠?qū)κ⒒ɑ@的底部起到導(dǎo)向作用，方便石英花籃放置于放置平臺(tái)上。

作為優(yōu)選，斜面朝向放置平臺(tái)一側(cè)。

作為優(yōu)選，還包括固定臺(tái)，放置平臺(tái)與支撐柱設(shè)于固定臺(tái)上。

作為優(yōu)選，還包括檢測裝置，用于檢測石英花籃是否擺放到位。

作為優(yōu)選，檢測裝置包括激光發(fā)射器與激光接收片，激光發(fā)射器與激光接收片位于放置平臺(tái)的兩側(cè)，激光發(fā)射器與激光接收片正對(duì)，激光發(fā)射器能夠發(fā)出光信號(hào)，激光接收片能夠接收光信號(hào)，當(dāng)放置平臺(tái)上未放置石英花籃時(shí)，激光接收片能夠接收到激光發(fā)射器發(fā)出的光信號(hào)，當(dāng)放置平臺(tái)上放置有石英花籃時(shí)，激光發(fā)射器發(fā)出的光信號(hào)被石英花籃遮擋，激光接收片無法接收到光信號(hào)，以此區(qū)別放置平臺(tái)上是否有石英花籃。

作為優(yōu)選，還包括底部支撐架，底部支撐架設(shè)于固定臺(tái)下方，用于抬高放置平臺(tái)的位置，使其與流水線高度相適應(yīng)。

作為優(yōu)選，放置平臺(tái)呈矩形，支撐柱設(shè)有六個(gè)，其中四個(gè)兩兩對(duì)稱的設(shè)于放置平臺(tái)的一組對(duì)邊上，其余兩個(gè)設(shè)于放置平臺(tái)另一組對(duì)邊的對(duì)角上。

綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型的緩存平臺(tái)解決了光伏、半導(dǎo)體材料在實(shí)際生產(chǎn)中，流水線上空余石英花籃資源浪費(fèi)的問題，提高了加工效率；支撐柱用于石英花籃的導(dǎo)向，確保石英花籃放位精準(zhǔn)，放置于放置平臺(tái)內(nèi)；檢測裝置能夠區(qū)別放置平臺(tái)上是否有石英花籃，方便裝置的自動(dòng)化控制；各個(gè)零件的可拆卸設(shè)計(jì)，方便裝置的運(yùn)輸以及組裝。

附圖說明

圖1是本裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；