[實用新型]一種緩存平臺

有效

• 申請號: 201921802541.0
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN211238185U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 劉群;龐愛鎖;林佳繼;林依婷
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;H01L21/66;H01L21/68
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

1.一種緩存平臺，其特征在于，包括放置平臺以及設于放置平臺四周的支撐柱；

放置平臺被配置為暫存石英花籃，支撐柱用于石英花籃的導向，確保石英花籃放置于放置平臺內。

2.根據權利要求1所述的一種緩存平臺，其特征在于，支撐柱至少有四個，分布于放置平臺的四周。

3.根據權利要求1所述的一種緩存平臺，其特征在于，支撐柱與放置平臺貼緊，支撐柱上設有斜面。

4.根據權利要求3所述的一種緩存平臺，其特征在于，斜面朝向放置平臺一側。

5.根據權利要求1所述的一種緩存平臺，其特征在于，還包括固定臺，放置平臺與支撐柱設于固定臺上。

6.根據權利要求1所述的一種緩存平臺，其特征在于，還包括檢測裝置，用于檢測石英花籃是否擺放到位。

7.根據權利要求6所述的一種緩存平臺，其特征在于，檢測裝置包括激光發射器與激光接收片，激光發射器與激光接收片位于放置平臺的兩側。

8.根據權利要求7所述的一種緩存平臺，其特征在于，還包括底部支撐架，底部支撐架設于固定臺下方，用于抬高放置平臺的位置，使其與流水線高度相適應。

9.根據權利要求1所述的一種緩存平臺，其特征在于，放置平臺呈矩形，支撐柱設有六個，其中四個兩兩對稱的設于放置平臺的一組對邊上，其余兩個設于放置平臺另一組對邊的對角上。