[實用新型]擋輻射板及擴散爐有效
| 申請號： | 201921801102.8 | 申請日： | 2019-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN210602789U | 公開（公告）日： | 2020-05-22 |
| 發明（設計）人： | 曹文;朱廷剛;胡小龍 | 申請（專利權）人： | 江蘇能華微電子科技發展有限公司 |
| 主分類號： | F27B17/00 | 分類號： | F27B17/00;F27D11/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人： | 王樺 |
| 地址： | 215600 江蘇省蘇州市張*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 輻射 擴散 | ||
1.一種擋輻射板，其特征在于：包括擋輻射板本體，所述的擋輻射板本體上開設有貫穿其兩面的主排氣口，所述的擋輻射板本體包括填充層、包覆在所述的填充層外部的包覆層，所述的填充層的材質為石英棉。
2.根據權利要求1所述的擋輻射板，其特征在于：所述的包覆層的材質為石英。
3.根據權利要求1所述的擋輻射板，其特征在于：所述的包覆層表面開設有安全排氣口。
4.根據權利要求1所述的擋輻射板，其特征在于：所述的擋輻射板本體的兩面均設置有凸出的支腳。
5.根據權利要求4所述的擋輻射板，其特征在于：所述的支腳的周面與所述的擋輻射板本體的周面位于同一個面，且位于兩面所述的支腳對稱設置。
6.根據權利要求4所述的擋輻射板，其特征在于：所述的支腳包括位于所述的主排氣口上方的上支腳、位于所述的主排氣口下方的下支腳，所述的上支腳、下支腳設置有多個。
7.根據權利要求1所述的擋輻射板，其特征在于：所述的主排氣口沿所述的擋輻射板本體的一面延伸有管部。
8.根據權利要求7所述的擋輻射板，其特征在于：所述的管部的材質為石英。
9.根據權利要求1所述的擋輻射板，其特征在于：所述的主排氣口開設在所述的擋輻射板本體的中心。
10.一種擴散爐，包括石英管、連接在所述的石英管至少一端的密封組件，其特征在于：所述的擴散爐還包括設置在所述的石英管內靠近所述的密封組件的擋輻射板，所述的擋輻射板為權利要求1至9中任意一項權利要求所述的擋輻射板。
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