[實用新型]擋輻射板及擴散爐

有效

• 申請號: 201921801102.8
• 申請日: 2019-10-24
• 公開（公告）號: CN210602789U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 曹文;朱廷剛;胡小龍
• 申請（專利權）人: 江蘇能華微電子科技發展有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D11/02;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 王樺

本實用新型涉及一種擋輻射板，包括擋輻射板本體，所述的擋輻射板本體上開設有貫穿其兩面的主排氣口，所述的擋輻射板本體包括填充層、包覆在所述的填充層外部的包覆層，所述的填充層的材質為石英棉。一種擴散爐，包括石英管、連接在所述的石英管至少一端的密封組件，所述的擴散爐還包括設置在所述的石英管內靠近所述的密封組件的擋輻射板。本實用新型通過包覆石英棉的擋輻射板能夠有效阻擋烤時的輻射熱，延長了密封組件的使用壽命；同時擋輻射板不會與烘烤氣體發生反應，保證了烘烤器件的質量。

技術領域

本實用新型涉及涉及擴散爐制造領域，特別是涉及一種擋輻射板及擴散爐。

背景技術

擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。

擴散爐包括爐腔、連接在爐腔端口的密封組件，通常還會在爐腔內設置擋輻射板。但是現有的擋輻射板存在以下問題：

1、在擴散爐通入腐蝕性氣體時，會與氣體反應，造成烘烤器件污染。

、采用石英材質的擋輻射板，使用時發現在烘烤時阻擋的輻射熱太少，不能將加熱絲散發出來的熱量擋住，導致熱量輻射到擴散爐的密封組件上，引起密封組件嚴重老化，對密封件造成影響達不到密封要求。

發明內容

本實用新型的一個目的是提供一種擋輻射板。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種擋輻射板，包括擋輻射板本體，所述的擋輻射板本體上開設有貫穿其兩面的主排氣口，所述的擋輻射板本體包括填充層、包覆在所述的填充層外部的包覆層，所述的填充層的材質為石英棉。

優選地，所述的包覆層的材質為石英。

優選地，所述的包覆層表面開設有安全排氣口。

優選地，所述的擋輻射板本體的兩面均設置有凸出的支腳。

進一步優選地，所述的支腳的周面與所述的擋輻射板本體的周面位于同一個面，且位于兩面所述的支腳對稱設置。

進一步優選地，所述的支腳包括位于所述的主排氣口上方的上支腳、位于所述的主排氣口下方的下支腳，所述的上支腳、下支腳設置有多個。

優選地，所述的主排氣口沿所述的擋輻射板本體的一面延伸有管部。

進一步優選地，所述的管部的材質為石英。

優選地，所述的主排氣口開設在所述的擋輻射板本體的中心。

本實用新型的另一個目的是提供一種擴散爐。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

一種擴散爐，包括石英管、連接在所述的石英管至少一端的密封組件，所述的擴散爐還包括設置在所述的石英管內靠近所述的密封組件的擋輻射板。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

本實用新型通過包覆石英棉的擋輻射板能夠有效阻擋烤時的輻射熱，延長了密封組件的使用壽命；同時擋輻射板不會與烘烤氣體發生反應，保證了烘烤器件的質量。

附圖說明

附圖1為本實施例中防輻射板的立體圖；

附圖2為本實施例中防輻射板的主視圖；

附圖3為附圖2中A-A剖視示意圖；

附圖4為本實施例中擴散爐的示意圖。