[實用新型]一種半導體芯片的分選編帶機

有效

• 申請號: 201921781258.4
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN210325723U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 賴小軍;肖濤;梁勝;陸梓釗;黃偉杰
• 申請（專利權）人: 廣東協鋮微電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;B07C5/02;B07C5/342;B07C5/344;B07C5/36
• 代理公司: 佛山市原創智慧知識產權代理事務所(普通合伙) 44556
• 代理人: 古珍芳

1.一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：包括控制組件、檢測分選組件、上料組件以及用于將合格的半導體芯片編帶包裝的編帶組件；

所述上料組件包括除靜電裝置、疏導裝置、用于將半導體芯片導向檢測分選組件的上料導軌以及用于將半導體芯片按設定方向排列并移送到上料導軌入口處的振動盤；

所述上料導軌入口處設有第一進氣口與第二進氣口，所述上料導軌出口處設有抽氣口，所述除靜電裝置包括離子風機以及抽氣除塵機構，所述離子風機的出風口與第一進氣口連通，所述抽氣除塵機構的進風口與抽氣口連通，所述疏導裝置包括用于對第二進氣口脈沖地通入壓縮氣體的吹氣機構以及可周期性碰撞上料導軌上表面的撞擊器；所述檢測分選組件、編帶組件、離子風機、抽氣除塵機構、吹氣機構以及撞擊器均與控制組件電性連接。

2.如權利要求1所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述第一進氣口與抽氣口設置在上料導軌的上表面或下表面。

3.如權利要求1所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述第二進氣口設有兩個，兩個所述第二進氣口分別設置在上料導軌送料方向的兩側，且所述第二進氣口的進氣方向與上料導軌的送料方向成30°-45°夾角。

4.如權利要求1所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述除靜電裝置還包括用于調整第一進氣口的進風流量的第一氣體流量調節器，所述疏導裝置還包括用于調整第二進氣口的最大進風流量的第二氣體流量調節器。

5.如權利要求1所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述撞擊器包括電伸縮桿以及固定在電伸縮桿輸出端的橡膠撞擊塊。

6.如權利要求1-5中任一項權利要求所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述檢測分選組件包括上料裝置、下料裝置、轉塔以及多個圓周均布在轉塔上的移料吸嘴，所述檢測分選組件沿轉塔的旋轉方向依次設有上料臺、外觀成像檢測裝置、第一不及格品收集箱、擺向校正裝置、電阻檢測裝置、第二不及格品收集箱、通電性能檢測裝置、第三不及格品收集箱、激光打標裝置、引腳成像檢測裝置、第四不及格品收集箱與下料臺，所述上料裝置用于將上料導軌下料端的半導體芯片移送到上料臺上，所述下料裝置用于將下料臺處的半導體芯片移送到編帶組件的上料口處。

7.如權利要求6所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述擺向校正裝置包括角度校正電機、設置在角度校正電機輸出端的旋轉臺以及設置在旋轉臺上的吸附嘴，所述吸附嘴用于吸附半導體芯片的下表面中心處。

8.如權利要求6所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述電阻檢測裝置與通電性能檢測裝置均通過快接數據線與控制組件連接。

9.如權利要求6所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述引腳成像裝置包括用于拍攝半導體芯片引腳的第一相機以及用于拍攝半導體芯片上表面的第二相機，所述檢測分選組件還包括設置在第四不及格品收集箱與下料臺之間的第五不及格品收集箱。

10.如權利要求1-5中任一項權利要求所述的一種半導體芯片的分選編帶機，其特征在于：所述控制組件包括控制器、與控制器電性連接的工控機以及與工控機電性連接的顯示器。