[實用新型]一種硅片手動脫膠裝置

有效

• 申請號: 201921777474.1
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN210897233U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 王曉飛;張明亮;張倩
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 陳佳麗

一種硅片手動脫膠裝置，涉及半導體硅棒多線切割后脫膠技術領域，包括提籃、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽從上到下依次懸設于提籃內，固定基座用于卡設裝有切割后未脫膠硅片的工件夾板，切割后未脫膠硅片隨工件夾板一同倒掛于提籃內的固定基座上，切割后未脫膠硅片由于自重自動脫落于固定基座下方的硅片接片槽中進行脫膠。本實用新型有益效果：本實用新型提供了一種硅片手動脫膠裝置實現倒掛對硅棒進行手動脫膠，結構簡單，設置合理，有效解決了現有脫膠工藝中存在的問題。

技術領域

本實用新型屬于半導體硅棒多線切割后脫膠技術領域，具體涉及一種硅片手動脫膠裝置。

背景技術

半導體硅棒與工件板的固定通常是用膠水來實現的，目的是使硅棒在切割過程中不移動，一般使用的都是環氧樹脂，俗稱AB膠。在經過線切割后的首個工序就是脫膠清洗，把切割成片的硅棒從工件夾板上完整的取下來，這就需要對硅片進行脫膠處理，脫膠時所需的液體溫度根據所使用的粘接劑來定，其原理是粘接劑在一定的溫度范圍內會軟化，硅片自動從工件板上完整的脫落。

現有脫膠工藝為硅棒朝上平放手動脫膠。線切割機的切割速度快，根部附著面積小，在脫膠過程中，硅片在沒有完全脫離工件夾板時出現傾倒，會發生根部斷裂的情況，造成損失。針對這個問題，采取倒掛手動脫膠方式來解決。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種硅片手動脫膠裝置，有效解決背景技術中提到的原有脫膠工藝存在的問題，降低了生產設備成本。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案是：一種硅片手動脫膠裝置，包括提籃、固定基座和硅片接片槽，固定基座和硅片接片槽從上到下依次懸設于提籃內，固定基座用于卡設裝有切割后未脫膠硅片的工件夾板，切割后未脫膠硅片隨工件夾板一同倒掛于提籃內的固定基座上，切割后未脫膠硅片由于自重自動脫落于固定基座下方的硅片接片槽中進行脫膠。

本實用新型所述固定基座包括2個與提籃內部形狀相適應的長方體底座Ⅰ，在2個長方體底座Ⅰ相對的一側分別設有與工件夾板端部形狀相適應的卡槽，在每個長方體底座Ⅰ的兩端底部分別設有固定片，每個固定片上分別開設有2個固定孔，所述提籃兩側與固定孔對應的位置分別設有固定基座安裝孔，固定基座安裝孔與固定孔位置對應并固定螺絲實現對固定基座的固定。

本實用新型所述硅片接片槽包括與提籃內形狀相適應的長方體底座Ⅱ，長方體底座Ⅱ上開設用于接收切割后未脫膠硅片的長槽，在長方體底座Ⅱ兩端的底部分別設有連接件，連接件上均開設有一個通孔，所述提籃的兩側與連接件上通孔對應位置也分別開設有提籃穿孔，固定絲桿依次穿過提籃穿孔和通孔后擰緊螺帽實現對硅片接片槽的固定。

本實用新型所述硅片接片槽的底部設有排水槽，在硅片完全脫膠后，把裝有已脫膠硅片的提籃從脫膠水槽中抬出，硅片接片槽中的水從排水槽排出。

本實用新型所述提籃的兩端分別設有方便移動提籃的提手。

本實用新型所述固定基座安裝孔為長方形。

本實用新型所述手動脫膠裝置還包括用于調節硅片接片槽長度的定距擋板，硅片接片槽的長槽兩側對應設有多對定距擋板固定槽，定距擋板兩端卡設在長槽兩側對應的一對定距擋板固定槽中以實現對不同長度的硅棒脫膠。

本實用新型所述硅片接片槽的長槽為四氟半圓形槽體以減少硅片與槽壁的碰撞。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了一種硅片手動脫膠裝置實現倒掛對硅棒進行手動脫膠，結構簡單，設置合理，有效解決了現有脫膠工藝中存在的在脫膠過程中，硅片在沒有完全脫離工件夾板時出現傾倒，會發生根部斷裂的情況，造成損失等問題，提高產品合格率，減少生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型提籃整體結構示意圖；

圖2為本實用新型固定基座整體結構示意圖；