[實用新型]一種硅片手動脫膠裝置

有效

• 申請號: 201921777474.1
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN210897233U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 王曉飛;張明亮;張倩
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 陳佳麗

1.一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：包括提籃（1）、固定基座（2）和硅片接片槽（3），固定基座（2）和硅片接片槽（3）從上到下依次懸設于提籃（1）內，固定基座（2）用于卡設裝有切割后未脫膠硅片（4）的工件夾板（5），切割后未脫膠硅片（4）隨工件夾板（5）一同倒掛于提籃（1）內的固定基座（2）上，切割后未脫膠硅片（4）由于自重自動脫落于固定基座（2）下方的硅片接片槽（3）中進行脫膠。

2.根據權利要求1所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述固定基座（2）包括2個與提籃（1）內部形狀相適應的長方體底座Ⅰ（21），在2個長方體底座Ⅰ（21）相對的一側分別設有與工件夾板（5）端部形狀相適應的卡槽（22），在每個長方體底座Ⅰ（21）的兩端底部分別設有固定片（23），每個固定片（23）上分別開設有2個固定孔（24），所述提籃（1）兩側與固定孔（24）對應的位置分別設有固定基座安裝孔（12），固定基座安裝孔（12）與固定孔（24）位置對應并固定螺絲（25）實現對固定基座（2）的固定。

3.根據權利要求1所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）包括與提籃（1）內形狀相適應的長方體底座Ⅱ（31），長方體底座Ⅱ（31）上開設用于接收切割后未脫膠硅片（4）的長槽（32），在長方體底座Ⅱ兩端的底部分別設有連接件（33），連接件（33）上均開設有一個通孔（34），所述提籃（1）的兩側與連接件（33）上通孔（34）對應位置也分別開設有提籃穿孔（13），固定絲桿（7）依次穿過提籃穿孔（13）和通孔（34）后擰緊螺帽（36）實現對硅片接片槽（3）的固定。

4.根據權利要求1所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）的底部設有排水槽，在硅片完全脫膠后，把裝有已脫膠硅片的提籃（1）從脫膠水槽（6）中抬出，硅片接片槽（3）中的水從排水槽排出。

5.根據權利要求1所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述提籃（1）的兩端分別設有方便移動提籃（1）的提手（11）。

6.根據權利要求2所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述固定基座安裝孔（12）為長方形。

7.根據權利要求3所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述手動脫膠裝置還包括用于調節硅片接片槽（3）長度的定距擋板（8），硅片接片槽（3）的長槽（32）兩側對應設有多對定距擋板固定槽（35），定距擋板（8）兩端卡設在長槽（32）兩側對應的一對定距擋板固定槽（35）中以實現對不同長度的硅棒脫膠。

8.根據權利要求3所述的一種硅片手動脫膠裝置，其特征在于：所述硅片接片槽（3）的長槽（32）為四氟半圓形槽體以減少硅片與槽壁的碰撞。