[實用新型]一種晶圓切割自動裝夾裝置

有效

• 申請號: 201921762350.6
• 申請日: 2019-10-21
• 公開（公告）號: CN211518098U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 陸孫華
• 申請（專利權）人: 蘇州英爾捷微電子股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 吳東勤

1.一種晶圓切割自動裝夾裝置，包括第一底座(1)、第二底座(8)、伸縮缸(9)、主動輥(12)和從動輥(20)，其特征在于：所述第一底座(1)上通過第一安裝座(3)固定有伺服電機(4)，所述主動輥(12)和從動輥(20)表面套設有傳送帶(14)，所述傳送帶(14)外表面設置有格柵(15)，且格柵(15)沿著傳送帶(14)等間距分布，所述第二底座(8)的上部固定有伸縮缸(9)，且伸縮缸(9)的伸縮端部固定連接有L型連接桿(7)，所述第二底座(8)上部固定有第一支板(5)和第二支板(24)，所述第一支板(5)與第二支板(24)的上部固定連接有切割平臺(21)，所述切割平臺(21)上開設有槽口(22)，且槽口(22)設置有兩個，所述槽口(22)沿切割平臺(21)的對角線開設，且關于切割平臺(21)縱向對稱軸對稱分布，所述槽口(22)內分別設置有第一定位柱(16)和第二定位柱(19)，所述L型連接桿(7)遠離伸縮缸(9)的一端與連接板(18)的一側固定連接，且連接板(18)的另一側固定連接有第三定位柱(23),所述第二底座(8)上固定有控制器(25)，且控制器(25)位于第一支板(5)和第二支板(24)之間，所述控制器(25)的輸出端與伺服電機(4)的輸入端和伸縮缸(9)的輸入端之間電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述伺服電機(4)的輸出軸上固定有主動輪(26)，所述主動輥(12)的一端固定有從動輪(11)，所述主動輪(26)通過皮帶(13)與從動輪(11)傳動連接。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述主動輥(12)的兩端通過前支撐臂(2)與第一底座(1)固定連接，且前支撐臂(2)設置有兩個，所述前支撐臂(2)的下部固定在第一底座(1)上，且前支撐臂(2)的上部通過軸承分別與主動輥(12)的兩端轉動連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述伸縮缸(9)通過第二安裝座(6)與第二底座(8)固定連接，所述第二安裝座(6)的下部固定在第二底座(8)上，且第二安裝座(6)的上部與伸縮缸(9)的側面固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述第二底座(8)的上部固定有后支撐臂(10)，且后支撐臂(10)設置有兩個，所述后支撐臂(10)的上端通過軸承分別與從動輥(20)的兩端轉動連接。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述第一定位柱(16)和第二定位柱(19)均通過螺母(17)與切割平臺(21)固定，所述螺母(17)分別通過第一定位柱(16)和第二定位柱(19)下部開設的螺紋與第一定位柱(16)和第二定位柱(19)螺紋連接。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓切割自動裝夾裝置，其特征在于：所述L型連接桿(7)遠離伸縮缸(9)的一端靠近傳送帶(14)的上表面，且L型連接桿(7)遠離伸縮缸(9)的一端與傳送帶(14)的上表面平行。