[實(shí)用新型]一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921743780.3
• 申請(qǐng)日: 2019-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN211086504U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何海洋;胡健峰;彭強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫市查奧微電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26;G01R1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型屬于晶圓檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括主機(jī)，所述主機(jī)將工作信號(hào)通過所述信號(hào)發(fā)射器A發(fā)射到所述信號(hào)接收器A和所述信號(hào)接收器C上，所述信號(hào)接收器A將工作信號(hào)傳遞到所述測(cè)試機(jī)A上，所述信號(hào)接收器C將信號(hào)傳遞到測(cè)試機(jī)B上，所述測(cè)試機(jī)A和所述測(cè)試機(jī)B開始工作，所述操作機(jī)A中的所述編碼器會(huì)將多管芯的位置編碼傳遞到測(cè)試機(jī)A，所述測(cè)試機(jī)A將工作信號(hào)傳遞到操作機(jī)A上，所述測(cè)試機(jī)B將工作信號(hào)傳遞到所述操作機(jī)B上，所述測(cè)試機(jī)A會(huì)將接受到的編碼經(jīng)處理器發(fā)送到解碼器上，解碼后的位置信息會(huì)經(jīng)處理器分析并下發(fā)相應(yīng)測(cè)試動(dòng)作命令，本實(shí)用新型具有一機(jī)多控的特點(diǎn)，充分提高了操作者的辦事效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，現(xiàn)有的多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，多為單人單機(jī)操作，易造成人力資源的浪費(fèi)，無法充分提高人力辦事效率。

現(xiàn)有的晶圓測(cè)試系統(tǒng)存在以下不足：

1、浪費(fèi)人力資源，個(gè)人辦事效率較低，且須操作者實(shí)時(shí)觀察，勞動(dòng)強(qiáng)度大。

2、現(xiàn)有的多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)多為電纜連接，造成車間電纜布線長(zhǎng)、占用空間大的特點(diǎn)，同時(shí)當(dāng)電纜內(nèi)部損壞時(shí)，維修不便。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，解決了單人單機(jī)工作的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，包括主機(jī)，所述主機(jī)將工作信號(hào)通過信號(hào)發(fā)射器A發(fā)射到信號(hào)接收器A 和信號(hào)接收器C上，所述信號(hào)接收器A將工作信號(hào)傳遞到測(cè)試機(jī)A上，所述信號(hào)接收器C將信號(hào)傳遞到測(cè)試機(jī)B上，所述測(cè)試機(jī)A和所述測(cè)試機(jī)B開始工作，所述測(cè)試機(jī)A通過電纜與信號(hào)發(fā)射器B連接，所述測(cè)試機(jī)B通過所述電纜與信號(hào)發(fā)射器C連接，所述主機(jī)通過所述電纜與信號(hào)接收器B連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述測(cè)試機(jī)A將工作信號(hào)傳遞到操作機(jī)A上，所述測(cè)試機(jī)B將工作信號(hào)傳遞到操作機(jī)B上。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，操作機(jī)A中的編碼器會(huì)將多管芯的位置編碼傳遞到測(cè)試機(jī)A。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述測(cè)試機(jī)A會(huì)將接受到的編碼經(jīng)處理器發(fā)送到解碼器上，解碼后的位置信息會(huì)經(jīng)處理器分析并下發(fā)相應(yīng)測(cè)試動(dòng)作命令。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述測(cè)試機(jī)A與操作機(jī)A之間通過電纜連接通信，且操作機(jī)A中安裝有針卡。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述主機(jī)與所述測(cè)試機(jī)A和所述測(cè)試機(jī)B之間通過無線連接。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，具備以下有益效果：

1、該種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，通過主機(jī)與測(cè)試機(jī)A和測(cè)試機(jī)B之間的無線連接，實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)程監(jiān)控的效果，同時(shí)節(jié)省了大量的電纜和電纜占用的空間。

2、該種多管芯晶圓測(cè)試系統(tǒng)，通過測(cè)試機(jī)A和操作機(jī)A及測(cè)試機(jī)B操作機(jī)B之間的電纜通信，避免了操作時(shí)發(fā)生信號(hào)丟失的問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型整體流程示意圖；

圖2為本實(shí)用新型操作機(jī)A程序流程示意圖；

圖3為本實(shí)用新型測(cè)試機(jī)A程序流程示意圖；

圖4為本實(shí)用新型系統(tǒng)測(cè)試流程示意圖。