[實用新型]一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921743780.3 | 申請日： | 2019-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN211086504U | 公開（公告）日： | 2020-07-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 何海洋;胡健峰;彭強 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫市查奧微電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26;G01R1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 管芯 測試 系統(tǒng) | ||
1.一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，包括主機(2)，其特征在于：所述主機(2)將工作信號通過信號發(fā)射器A(1)發(fā)射到信號接收器A(3)和信號接收器C(10)上，所述信號接收器A(3)將工作信號傳遞到測試機A(4)上，所述信號接收器C(10)將信號傳遞到測試機B(11)上，所述測試機A(4)和所述測試機B(11)開始工作，所述測試機A(4)通過電纜(6)與信號發(fā)射器B(7)連接，所述測試機B(11)通過所述電纜(6)與信號發(fā)射器C(9)連接，所述主機(2)通過所述電纜(6)與信號接收器B(8)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，其特征在于：所述測試機A(4)將工作信號傳遞到操作機A(5)上，所述測試機B(11)將工作信號傳遞到操作機B(12)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，其特征在于：操作機A(5)中的編碼器(13)會將多管芯的位置編碼傳遞到測試機A(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，其特征在于：所述測試機A(4)會將接受到的編碼經(jīng)處理器(15)發(fā)送到解碼器(16)上，解碼后的位置信息會經(jīng)處理器(15)分析并下發(fā)相應(yīng)測試動作命令。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，其特征在于：所述測試機A(4)與操作機A(5)之間通過電纜(6)連接通信，且操作機A(5)中安裝有針卡(14)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多管芯晶圓測試系統(tǒng)，其特征在于：所述主機(2)與所述測試機A(4)和所述測試機B(11)之間通過無線連接。
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