[實用新型]一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器

有效

• 申請號: 201921736402.2
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN210224592U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 朱曉琪;段志儒;李建平;吳昊林
• 申請（專利權）人: 微源光子（深圳）科技有限公司
• 主分類號: H01S5/06
• 分類號: H01S5/06;H01S5/14;H01S5/065
• 代理公司: 成都明濤智創專利代理有限公司 51289
• 代理人: 丁國勇

1.一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，包括激光器殼體(1)，其特征在于：所述激光器殼體(1)的內壁左側固定安裝有VECSEL芯片(2)，所述VECSEL芯片(2)的右側固定安裝有光闌(3)，所述激光器殼體(1)上下兩側的內壁上均固定安裝有位于光闌(3)右側的限位塊(4)，所述限位塊(4)的相對側固定安裝有準直透鏡(5)，所述激光器殼體(1)上下兩側的內壁上均活動安裝有位于準直透鏡(5)右側的調諧塊(6)，所述調諧塊(6)的相對側固定安裝有濾光片(7)，所述激光器殼體(1)上下兩側的內壁上均活動安裝有位于濾光片(7)右側的活動塊(8)，所述活動塊(8)的相對側固定安裝有反射鏡(9)，所述反射鏡(9)的右側固定安裝有壓電陶瓷片(10)，所述激光器殼體(1)的右側活動安裝有與壓電陶瓷片(10)固定連接的出光鏡筒(11)。

2.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述激光器殼體(1)的內壁上開設有滑槽，且活動塊(8)通過滑槽與殼體(1)活動連接。

3.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述VECSEL芯片(2)的基板上固定安裝有VECSEL激光器，VECSEL激光器的結構中包含襯底，背光面高反射率分布式布拉格反射區(DBR)，出光面低反射率分布式布拉格反射區(DBR)，有源區、抗氧化層和電極，相對于一般的VCSEL激光器芯片，其有源層的兩側中只有一側是DBR高反射率區，另一側只有少數層數的DBR，構成中低反射率，通過抗氧化層保護后直接出光。

4.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述光闌(3)的橫截面呈圓狀，且光闌(3)位于述VECSEL芯片(2)的出光處。

5.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述濾光片(7)與激光器殼體(1)活動連接，且濾光片(7)位于激光器殼體(1)處于同一條中心線上。

6.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述準直透鏡(5)的左側為平面，且準直透鏡(5)的右側為圓弧狀。

7.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述反射鏡(9)上鍍有一定反射率的反射膜，且反射膜呈均勻分布于反射鏡(9)的外側，反射鏡(9)的內側鍍有高透過率的增透膜。

8.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述壓電陶瓷片(10)的中心處是挖空透光的，且壓電陶瓷片(10)呈圓環狀。

9.根據權利要求1所述的一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，其特征在于：所述出光鏡筒(11)外側采用光滑設計，且出光鏡筒(11)通過螺紋與壓電陶瓷片(10)進行固定連接。