[實用新型]一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器

有效

• 申請號: 201921736402.2
• 申請日: 2019-10-16
• 公開（公告）號: CN210224592U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 朱曉琪;段志儒;李建平;吳昊林
• 申請（專利權）人: 微源光子（深圳）科技有限公司
• 主分類號: H01S5/06
• 分類號: H01S5/06;H01S5/14;H01S5/065
• 代理公司: 成都明濤智創專利代理有限公司 51289
• 代理人: 丁國勇

本實用新型涉及激光器技術領域，且公開了一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，包括激光器殼體，激光器殼體的內壁左側固定安裝有VECSEL芯片，VECSEL芯片的右側固定安裝有光闌，激光器殼體上下兩側的內壁上均固定安裝有位于光闌右側的限位塊，限位塊的相對側固定安裝有準直透鏡，激光器殼體上下兩側的內壁上均活動安裝有位于準直透鏡右側的調諧塊，調諧塊的相對側固定安裝有濾光片。該量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，通過設計基于VECSEL芯片的垂直外腔光路，相對于傳統的邊發射激光器，外腔光路易調節，從而達到了便于調節光路的目的，并且容易進行量產，降低了成本，提高其經濟效益，使用也比較方便，光路的設計支持極高輸出功率。

技術領域

本實用新型涉及激光器技術領域，具體為一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器。

背景技術

激光器為能發射激光的裝置，而且可調諧激光器與其他傳統的固態激光器相比，具有從近紫外到近紅外的寬波段調諧范圍，并且其本身尺寸小、線寬窄和光學效率高，這使其在光芯片實驗室、通信、傳感等領域具有重要的應用前景，并且外腔技術是激光器中非常重要的手段，常用于激光波長的調諧和線寬的壓窄，同時外腔結構的激光器容易產生高輸出功率，因此其在冷原子物理、環境監測、生物監測、工業測量和光譜學等諸多領域中被廣泛應用，其中VECSEL激光器中文全稱為垂直外腔面發射激光器，垂直外腔面發射激光器是激光器中的一種。

當前已有的外腔激光器結構，使用的多是FP激光器，激光器側面發光后，經過外腔端面返回激光器芯片中，形成振蕩，這一類外腔激光器的光路調節要求非常高，嚴重制約了產能和成本，不容易進行量產，降低了經濟效益，同時不便于對光路進行調節，調節起來過程比較繁瑣，使用起來很不方便，故而提出一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器來解決上述的問題。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，具備容易量產等優點，解決了當前已有的外腔激光器結構，使用的多是FP激光器，激光器側面發光后，經過外腔端面返回激光器芯片中，形成振蕩，這一類外腔激光器的光路調節要求非常高，嚴重制約了產能和成本，不容易進行量產，降低了經濟效益，同時不便于對光路進行調節，調節起來過程比較繁瑣，使用起來很不方便的問題。

(二)技術方案

為實現上述容易量產目的，本實用新型提供如下技術方案：一種易量產的可調諧垂直光路窄線寬外腔激光器，包括激光器殼體，所述激光器殼體的內壁左側固定安裝有VECSEL芯片，所述VECSEL芯片的右側固定安裝有光闌，所述激光器殼體上下兩側的內壁上均固定安裝有位于光闌右側的限位塊，所述限位塊的相對側固定安裝有準直透鏡，所述激光器殼體上下兩側的內壁上均活動安裝有位于準直透鏡右側的調諧塊，所述調諧塊的相對側固定安裝有濾光片，所述激光器殼體上下兩側的內壁上均活動安裝有位于濾光片右側的活動塊，所述活動塊的相對側固定安裝有反射鏡，所述反射鏡的右側固定安裝有壓電陶瓷片，所述激光器殼體的右側活動安裝有與壓電陶瓷片固定連接的出光外腔。

優選的，所述激光器殼體的內壁上開設有滑槽，且活動塊通過滑槽與殼體活動連接。

優選的，所述VECSEL芯片的基板上固定安裝有VECSEL激光器，VECSEL激光器的結構中包含襯底，背光面高反射率分布式布拉格反射區(DBR)，出光面低反射率分布式布拉格反射區(DBR)，有源區、抗氧化層和電極，相對于一般的VCSEL激光器芯片，其有源層的兩側中只有一側是DBR高反射率區，另一側只有少數層數的DBR，構成中低反射率，通過抗氧化層保護后直接出光。

優選的，所述光闌的橫截面呈圓狀，且光闌位于述VECSEL芯片的出光處。

優選的，所述濾光片與激光器殼體活動連接，且濾光片位于激光器殼體處于同一條中心線上。