[實(shí)用新型]一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921723116.2
• 申請(qǐng)日: 2019-10-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211036176U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王金鳳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 王金鳳
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，屬于單晶爐領(lǐng)域，一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，包括底座，所述底座內(nèi)底壁固定安裝有若干導(dǎo)向柱，使用時(shí)，首先將單晶爐支架放置于底座上方，底座用于對(duì)單晶爐小幅度晃動(dòng)減震，然后將減震彈簧均勻固定于爐體減震架內(nèi)壁四周，將減震筒固定于減震彈簧遠(yuǎn)離爐體減震架一側(cè)，隨后將減震彈簧固定于減震筒內(nèi)壁四周，接著將弧形板固定于減震彈簧遠(yuǎn)離減震筒一側(cè)，將爐體減震架固定于單晶爐支架上方與主爐室外側(cè)，之后將固定桿固定于底座左右兩側(cè)，張開(kāi)固定桿前后兩側(cè)的支撐架，最后將伸縮桿調(diào)整到合適高度后使用管卡固定主爐室頂部的副爐室。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶爐領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐。

背景技術(shù)

單晶爐由爐體、熱場(chǎng)、磁場(chǎng)、控制裝置等部件組成，硅料經(jīng)過(guò)提煉提純成為高純度的多晶硅后，需在單晶爐中得到單晶硅棒，其中控制爐內(nèi)溫度的熱場(chǎng)和控制晶體生長(zhǎng)形狀的磁場(chǎng)是決定單晶爐生產(chǎn)能力的關(guān)鍵，副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成，爐蓋:副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗、抽真空管道組成，爐筒:包括取光孔，下?tīng)t筒:包括抽真空管道，底座機(jī)架:全鑄鐵機(jī)架和底座，坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體、電機(jī)、坩堝支撐軸、減速機(jī)、軟波紋管、立柱、上下傳動(dòng)支撐架、導(dǎo)軌、等部件組成，分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管水管卡套等，氬氣管道布置:質(zhì)量流量計(jì)3根以上的柔性管、不銹鋼管，3個(gè)壓力探測(cè)器、高密封性卡套等部件，真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵、水環(huán)真空泵、過(guò)濾器、真空管道、硬波紋管等，電源以及電控柜:電源柜、濾波柜、控制柜以及連接線。

單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備，單晶爐主爐室與副爐室較高，如果固定不完善會(huì)造成設(shè)備晃動(dòng)倒塌造成損失，因此需要設(shè)計(jì)出一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐來(lái)解決上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

1.要解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，具備穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，解決了固定不完善造成設(shè)備晃動(dòng)倒塌的問(wèn)題。

2.技術(shù)方案

為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案。

一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，包括底座，所述底座內(nèi)底壁固定安裝有若干導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱內(nèi)部固定連接有彈簧，所述彈簧的頂部固定連接有頂桿，所述頂桿頂部固定連接有底板，所述底板頂部固定連接有單晶爐支架，所述單晶爐支架頂部固定安裝有主爐室，所述單晶爐支架頂部且位于主爐室的外側(cè)固定安裝有爐體減震架，所述爐體減震架與主爐室之間設(shè)有減震筒，所述減震筒內(nèi)外兩側(cè)均固定連接有若干個(gè)減震彈簧，所述減震筒通過(guò)減震彈簧與爐體減震架連接，所述減震筒內(nèi)側(cè)且位于主爐室的外側(cè)設(shè)置有四個(gè)弧形板，所述弧形板與減震筒之間通過(guò)減震彈簧連接，所述爐體減震架頂部固定連接有副爐室，所述底座左右兩側(cè)均固定連接有固定桿，所述固定桿與爐體減震架之間固定安裝有連接桿，所述固定桿底部且位于底座兩側(cè)固定連接有支撐架，所述固定桿頂部活動(dòng)連接有伸縮桿，所述伸縮桿靠近副爐室一側(cè)固定連接有管卡，使用時(shí)，首先將單晶爐支架放置于底座上方，底座用于對(duì)單晶爐小幅度晃動(dòng)減震，然后將減震彈簧均勻固定于爐體減震架內(nèi)壁四周，將減震筒固定于減震彈簧遠(yuǎn)離爐體減震架一側(cè)，隨后將減震彈簧固定于減震筒內(nèi)壁四周，接著將弧形板固定于減震彈簧遠(yuǎn)離減震筒一側(cè)，將爐體減震架固定于單晶爐支架上方與主爐室外側(cè)，之后將固定桿固定于底座左右兩側(cè)，張開(kāi)固定桿前后兩側(cè)的支撐架，最后將伸縮桿調(diào)整到合適高度后使用管卡固定主爐室頂部的副爐室。

優(yōu)選的，所述伸縮桿靠近固定桿的一端貫穿開(kāi)設(shè)有若干插孔，所述插孔豎直均勻分布于伸縮桿外側(cè)，所述伸縮桿與固定桿之間通過(guò)定位桿與插孔連接，可以根據(jù)副爐室的高度通過(guò)定位桿與插孔的連接調(diào)整伸縮桿高度。