[實(shí)用新型]一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921723116.2
• 申請(qǐng)日: 2019-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN211036176U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王金鳳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 王金鳳
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)內(nèi)底壁固定安裝有若干導(dǎo)向柱(11)，所述導(dǎo)向柱(11)內(nèi)部固定連接有彈簧(13)，所述彈簧(13)的頂部固定連接有頂桿(12)，所述頂桿(12)頂部固定連接有底板(14)，所述底板(14)頂部固定連接有單晶爐支架(2)，所述單晶爐支架(2)頂部固定安裝有主爐室(19)，所述單晶爐支架(2)頂部且位于主爐室(19)的外側(cè)固定安裝有爐體減震架(3)，所述爐體減震架(3)與主爐室(19)之間設(shè)有減震筒(18)，所述減震筒(18)內(nèi)外兩側(cè)均固定連接有若干個(gè)減震彈簧(17)，所述減震筒(18)通過減震彈簧(17)與爐體減震架(3)連接，所述減震筒(18)內(nèi)側(cè)且位于主爐室(19)的外側(cè)設(shè)置有四個(gè)弧形板(16)，所述弧形板(16)與減震筒(18)之間通過減震彈簧(17)連接，所述爐體減震架(3)頂部固定連接有副爐室(4)，所述底座(1)左右兩側(cè)均固定連接有固定桿(6)，所述固定桿(6)與爐體減震架(3)之間固定安裝有連接桿(5)，所述固定桿(6)底部且位于底座(1)兩側(cè)固定連接有支撐架(7)，所述固定桿(6)頂部活動(dòng)連接有伸縮桿(8)，所述伸縮桿(8)靠近副爐室(4)一側(cè)固定連接有管卡(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，其特征在于：所述伸縮桿(8)靠近固定桿(6)的一端貫穿開設(shè)有若干插孔，所述插孔豎直均勻分布于伸縮桿(8)外側(cè)，所述伸縮桿(8)與固定桿(6)之間通過定位桿(15)與插孔連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，其特征在于：所述導(dǎo)向柱(11)內(nèi)開設(shè)有凹槽，所述凹槽頂部固定安裝有限位塊(22)，所述彈簧(13)位于凹槽內(nèi)部，所述頂桿(12)中部且位于限位塊(22)下方固定安裝有卡塊(23)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，其特征在于：所述底座(1)左右側(cè)壁設(shè)有圓形滑槽(20)，所述底板(14)與圓形滑槽(20)連接處設(shè)有滑塊(21)，所述滑塊(21)與圓形滑槽(20)之間通過活動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，其特征在于：所述管卡(9)套設(shè)于副爐室(4)外側(cè)并與伸縮桿(8)連接，所述管卡(9)通過螺栓螺母連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可以降低晃動(dòng)幅度的半導(dǎo)體單晶爐，其特征在于：所述導(dǎo)向柱(11)的數(shù)量為四到八個(gè)，多個(gè)所述導(dǎo)向柱(11)均勻分布于底座(1)內(nèi)底壁。