[實用新型]一種石英舟自動上下片裝置有效
| 申請號: | 201921706491.6 | 申請日: | 2019-10-12 |
| 公開(公告)號: | CN211125610U | 公開(公告)日: | 2020-07-28 |
| 發明(設計)人: | 暢家盛 | 申請(專利權)人: | 連云港國倫石英制品有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 杜麗麗 |
| 地址: | 222000 江蘇省連云*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 自動 下片 裝置 | ||
1.一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:包括支撐柱(1),所述支撐柱(1)設置有四個,四個所述支撐柱(1)的頂端共同固定連接有頂板(2),所述頂板(2)的上方設置有液壓缸(3),所述頂板(2)的上表面開設有移動槽(21),所述液壓缸(3)的輸出端延伸至頂板(2)的下方,所述液壓缸(3)的輸出端固定連接有保護殼(31),所述保護殼(31)的底部固定連接有夾持框(32),所述保護殼(31)的內部設置有氣缸(4),所述氣缸(4)的輸出端延伸至夾持框(32)的內部,所述夾持框(32)的內部設置有第一夾片(33)和第二夾片(34),所述移動槽(21)的內側壁開設有驅動槽(22),所述驅動槽(22)的內側壁通過軸承轉動連接有螺紋桿(51),所述螺紋桿(51)的一端延伸至頂板(2)的外部,所述頂板(2)的外側壁固定連接有驅動電機(5),所述驅動電機(5)的輸出端通過聯軸器與螺紋桿(51)固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述液壓缸(3)的底部固定連接有T型板(53),所述T型板(53)的豎直端滑動連接在移動槽(21)的內部,所述氣缸(4)的輸出端與T型板(53)滑動連接,所述螺紋桿(51)的外側壁螺紋套接有螺紋筒(52),所述螺紋筒(52)與T型板(53)的豎直端固定連接。
3.根據權利要求2所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述T型板(53)豎直端的底部固定連接有兩個平行設置的滑桿(54),兩個所述滑桿(54)的外側壁均滑動連接有滑筒(55),兩個所述滑筒(55)的底端均與夾持框(32)固定連接。
4.根據權利要求1所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述氣缸(4)的輸出端固定連接有推板(41),所述推板(41)的底部固定連接有多組等距設置的推桿(42),每組所述推桿(42)設置有兩個,所述第一夾片(33)和第二夾片(34)均設置有多個,所述第一夾片(33)與第二夾片(34) 交錯設置,每組所述推桿(42)均位于第一夾片(33)和第二夾片(34)之間,兩組所述推桿(42)之間均設置有兩個彈簧(44)。
5.根據權利要求4所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述第一夾片(33)和第二夾片(34)共同滑動連接有兩個固定柱(43),兩個所述固定柱(43)的兩端均與夾持框(32)的內側壁固定連接,多個所述推桿(42)均位于兩個固定柱(43)之間,多個所述彈簧(44)均滑動套接在固定柱(43)的外側壁上,所述彈簧(44)均位于第一夾片(33)和第二夾片(34)。
6.根據權利要求5所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述彈簧(44)的數量比第一夾片(33)的數量少一個,多個所述推桿(42)靠近推板(41)一端的寬度比推桿(42)位于第一夾片(33)和第二夾片(34)之間一端的寬度大,多個所述推桿(42)的外側壁均固定連接有限位塊(45),多個所述第二夾片(34)的外側壁均開設有與限位塊(45)相適配的限位槽(46),多個所述限位塊(45)滑動連接在限位槽(46)內。
7.根據權利要求1所述的一種石英舟自動上下片裝置,其特征在于:所述夾持框(32)相對的兩外側壁均固定連接有滑塊(62),兩個所述滑塊(62)相遠離的一側均設置有連接桿(6),所述連接桿(6)的兩端均與支撐柱(1)固定連接,兩個所述連接桿(6)相靠近的一側均開設有連接槽(61),所述連接槽(61)的兩端均設置有與滑塊(62)相適配的下壓槽(63),四個所述下壓槽(63)均開設在支撐柱(1)的外側壁上,所述下壓槽(63)均與連接槽(61)相通。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





