[實(shí)用新型]基板交接機(jī)構(gòu)及基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921688081.3
• 申請(qǐng)日: 2019-10-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210837694U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 富永二郎;石原明;宮本美紀(jì);田中裕司;犬伏祐美子
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

該基板交接機(jī)構(gòu)包括：

處理前交接平臺(tái)，其搬入并載置實(shí)施處理前的基板；

處理后交接平臺(tái)，其搬入并載置實(shí)施處理后的基板；

升降機(jī)構(gòu)，其使所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)一體地升降，在所述處理前交接平臺(tái)位于所述升降機(jī)構(gòu)的規(guī)定的下降位置且判斷出處理前的基板已搬入的情況下，該升降機(jī)構(gòu)使所述處理前交接平臺(tái)上升到規(guī)定的高度位置，在所述處理后交接平臺(tái)位于所述規(guī)定的高度位置且判斷出處理后的基板已搬入的情況下，該升降機(jī)構(gòu)使所述處理后交接平臺(tái)下降到所述規(guī)定的下降位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)分別具有支承基板的多個(gè)支承銷(xiāo)和吸附保持基板的吸附銷(xiāo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

還包括控制所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)的升降動(dòng)作的控制部，

所述控制部基于檢測(cè)在所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)分別有無(wú)載置基板的傳感器的信號(hào)來(lái)進(jìn)行上述判斷。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

還包括控制所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)的升降動(dòng)作的控制部，

所述控制部基于檢測(cè)將基板吸附于所述吸附銷(xiāo)上的吸附壓力的傳感器的信號(hào)來(lái)進(jìn)行上述判斷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)在上下方向上空開(kāi)間隔地與所述升降機(jī)構(gòu)的軸部連接配置，且所述處理后交接平臺(tái)配置于上方。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述處理前交接平臺(tái)和所述處理后交接平臺(tái)的至少一方具有利用罩體與外部劃分開(kāi)的空間區(qū)域，該罩體設(shè)有使基板搬入和搬出的開(kāi)口部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述罩體劃分設(shè)有所述處理后交接平臺(tái)的一側(cè)的空間區(qū)域，并在設(shè)有所述處理后交接平臺(tái)的一側(cè)的空間區(qū)域設(shè)置氣體供給裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板交接機(jī)構(gòu)，其特征在于，

在所述罩體的設(shè)有所述處理后交接平臺(tái)的一側(cè)的空間區(qū)域的所述開(kāi)口部設(shè)有開(kāi)閉門(mén)，在所述升降機(jī)構(gòu)的動(dòng)作過(guò)程中，利用控制部關(guān)閉所述開(kāi)閉門(mén)。

9.一種基板處理裝置，其特征在于，

該基板處理裝置包括：

搬入搬出站，其相對(duì)于盒體進(jìn)行基板的搬入和搬出；

處理站，其形成多層且在各層具有多個(gè)單位處理塊，該單位處理塊至少包括對(duì)基板實(shí)施處理的多個(gè)處理單元和向所述處理單元進(jìn)行基板的輸送的基板輸送裝置；

基板交接部，其在所述搬入搬出站與處理站之間進(jìn)行基板的交接；以及

權(quán)利要求1所述的基板交接機(jī)構(gòu)，

位于多層設(shè)置的所述單位處理塊的上層的所述基板輸送裝置，利用所述基板交接機(jī)構(gòu)進(jìn)行基板的搬入和搬出。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板處理裝置，其特征在于，

所述處理站至少包括三層，所述基板交接機(jī)構(gòu)至少具有2組，各基板交接機(jī)構(gòu)分別與中層的單位處理塊和上層的單位處理塊的高度位置對(duì)應(yīng)設(shè)置，并且，各基板交接機(jī)構(gòu)中升降機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置。