[實用新型]保持裝置、載體保持裝置系統以及晶片干燥設備

有效

• 申請號: 201921676611.2
• 申請日: 2019-10-02
• 公開（公告）號: CN211700199U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 尼爾斯·卡斯騰森
• 申請（專利權）人: 雷納技術有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683;F26B5/00
• 代理公司: 北京金恒聯合知識產權代理事務所 11324
• 代理人: 李強

1.用于保持晶片載體(6)的保持裝置(5)，其特征在于包括具有與晶片載體(6)的齒條(10a)接觸的刷子(14a，14b)的刷單元(13)。

2.根據權利要求1所述的保持裝置(5)，其特征在于：刷子(14a，14b)設計為條形刷子。

3.根據權利要求1或2所述的保持裝置(5)，其特征在于刷子(14a，14b)具有無金屬的刷毛(15)。

4.根據權利要求1或2所述的保持裝置(5)，其特征在于刷子(14a，14b)具有包含塑料的刷毛(15)。

5.根據權利要求1或2所述的保持裝置(5)，其特征在于刷單元(13)具有可樞轉地安裝的刷子保持器(16)，刷子(14a，14b)被安裝在該刷子保持器上。

6.根據權利要求1或2所述的保持裝置(5)，其特征在于刷單元(13)具有用于與晶片載體(6)的同一個齒條(10a)接觸的另一個的刷子(14a，14b)。

7.根據權利要求6所述的保持裝置(5)，其特征在于，所述刷單元(13)的兩個刷子(14a，14b)彼此耦合，從而使得各刷子(14a，14b)的橫截面相對于豎直平面(22)的傾斜角(α1，β1)依賴于兩個刷子(14a，14b)中的另一個的橫截面相對于豎直平面(22)的傾斜角(α1，β1)。

8.根據權利要求6所述的保持裝置(5)，其特征在于，所述刷單元(13)的兩個刷子(14a，14b)被這樣安裝，即使得在所述兩個刷子(14a，14b)在不與晶片載體(6)的齒條(10a)接觸的狀態下，所述兩個刷子(14a，14b)的橫截面與豎直平面(22)有不同的傾斜。

9.根據權利要求6所述的保持裝置(5)，

其特征在于，刷單元(13)的兩個刷子(14a，14b)被這樣地安裝，即使得在所述兩個刷子(14a，14b)不與晶片載體的齒條(10a)相接觸的狀態下，各刷子(14a，14b)的橫截面相對于豎直平面(22)具有第一傾斜角(α1，β1)，并且在兩個刷子(14a，14b)都與晶片載體(6)的齒條(10a)相接觸的狀態下各刷子(14a，14b)的橫截面相對于豎直平面(22)具有與第一傾斜角(α1，β1)不同的第二傾斜角(α2，β2)。

10.根據權利要求9所述的保持裝置(5)，其特征在于，各刷子(14a，14b)的第二傾斜角(α2，β2)大于相應刷子(14a，14b)的第一傾斜角(α1，β1)。

11.根據權利要求6所述的保持裝置(5)，其特征在于，刷單元(13)具有用于兩個刷子(14a，14b)的每個刷子的樞轉安裝的刷子保持器(16)，每個刷子被安裝在自己的刷子保持器(16)上，其中刷單元(13)包括一個旋轉接頭(17)，該兩個刷子保持器(16)通過該旋轉接頭相互連接。

12.根據權利要求11所述的保持裝置(5)，其特征在于，所述旋轉接頭(17)被設計為彈簧合頁。

13.根據權利要求1所述的保持裝置(5)，其特征在于所述保持裝置(5)包括另一刷單元，該另一刷單元具有一個或多個用于接觸晶片載體(6)的另一齒條(10a)的刷子(14a，14b)。

14.根據權利要求13所述的保持裝置(5)，其特征在于，所述另一刷單元具有與所述刷單元(13)相同的構造。

15.載體保持裝置系統(4)，其特征在于所述載體保持裝置系統(4)包括根據權利要求1至14中任一項所述的保持裝置(5)，且在所述保持裝置(5)上支撐有具有齒條(10a)的晶片載體(6)，保持裝置(5)的刷單元(13)的至少一個刷子(14a，14b)被用于該齒條(10a)。