[實用新型]一種用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池擴散爐及生產(chǎn)線

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921662382.9
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN211079409U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔杰洪;范迎新;張威;蘇衛(wèi)中
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06;C30B29/06;H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

1.一種用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池擴散爐，其特征在于：包括第一水平傳送裝置，沿所述第一水平傳送裝置的傳送方向依次設(shè)有第一上料腔(21)、第一預(yù)熱腔(22)、擴散工藝腔(23)、第一冷卻腔(24)及第一下料腔(25)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池擴散爐，其特征在于：沿所述第一水平傳送裝置的傳送方向，所述擴散工藝腔(23)依次設(shè)有預(yù)擴散腔(231)、擴散腔(232)、及推結(jié)腔(233)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池擴散爐，其特征在于：還包括載片框(8)，所述載片框(8)上設(shè)有多個電池片定位凹槽(81)，多個所述電池片定位凹槽(81)呈矩形陣列式分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池擴散爐，其特征在于：所述第一水平傳送裝置采用輥輪傳送。

5.一種用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線，包括制絨機(1)、去PSG清洗機(3)、退火爐(4)、平板式PECVD(5)、激光消融機(6)、印刷燒結(jié)設(shè)備(7)及測試分選機(9)，其特征在于：還包括權(quán)利要求1至4中任一項所述的擴散爐，所述制絨機(1)、擴散爐、去PSG清洗機(3)、退火爐(4)、平板式PECVD(5)、激光消融機(6)、印刷燒結(jié)設(shè)備(7)及測試分選機(9)依次布置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線，其特征在于：所述退火爐(4)包括第二水平傳送裝置，沿所述第二水平傳送裝置的傳送方向依次設(shè)有第二上料腔(41)、第二預(yù)熱腔(42)、退火工藝腔(43)、第二冷卻腔(44)及第二下料腔(45)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線，其特征在于：所述第二水平傳送裝置采用輥輪傳送。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于連續(xù)式生產(chǎn)的晶體硅太陽能電池生產(chǎn)線，其特征在于：所述制絨機(1)與所述擴散爐之間、所述擴散爐(2)與所述去PSG清洗機(3)之間、所述去PSG清洗機(3)與所述退火爐(4)之間、所述退火爐(4)與所述平板式PECVD(5)之間、所述平板式PECVD(5)與所述激光消融機(6)之間、所述激光消融機(6)與所述印刷燒結(jié)設(shè)備(7)之間、以及所述印刷燒結(jié)設(shè)備(7)與所述測試分選機(9)之間均設(shè)有自動插片機(20)。