[實用新型]一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具

有效

• 申請號: 201921661378.0
• 申請日: 2019-10-07
• 公開（公告）號: CN210850893U
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 耿靳財;王剛;徐越;祁奇
• 申請（專利權）人: 青云志能源科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 蘇州啟華專利代理事務所(普通合伙) 32357
• 代理人: 徐偉華

本實用新型公開了一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其包括：抽氣硬管、卸料臺、固定座、滑座和真空夾具，所述真空夾具設置在滑座上，所述真空夾具正面間隔設置有數個與晶棒對應的插槽，所述插槽中同心內凹設置有真空室，所述真空夾具背面設置有與真空室相連通的螺紋孔，所述抽氣硬管前端安裝在螺紋孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料臺上方，所述卸料臺頂部設置有位于晶棒下方的支撐滾軸，所述卸料臺正面設置有位于支撐滾軸前方的斜坡面。本實用新型所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，提升了切割效率和晶棒在切割時的穩定性，切割下來的片材通過斜坡面進行導流，加強了對片材的保護。

技術領域

本實用新型涉及半導體制冷片晶棒加工技術領域，尤其涉及一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具。

背景技術

半導體制冷片是由半導體所組成的冷卻裝置，利用半導體材料的特性，當直流電通過兩種不同半導體材料串聯成的電偶時，在電偶的兩端分別吸收熱量和放出熱量，實現制冷的目的。半導體制冷片的體積通常比較小巧，可靠性比較高，可以應用在空間受到限制的場所。

半導體制冷片的生產離不開晶棒，需要先對半導體制冷片晶棒進行切片加工，方可進行半導體制冷片的生產。現有電火花切割設備，只能單根進行晶棒的夾持和切割，效率低下，而且夾持過程中容易造成晶棒外圓的損壞，材料的利用率低，生產的成本高。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，避免晶棒的損傷，提升切割的效率。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，包括：抽氣硬管、卸料臺、固定座、滑座和真空夾具，所述卸料臺設置在固定座的前方，所述滑座滑動設置在固定座上，所述真空夾具設置在滑座上，所述真空夾具正面間隔設置有數個與晶棒對應的插槽，所述插槽中同心內凹設置有真空室，所述真空夾具背面設置有與真空室相連通的螺紋孔，所述抽氣硬管前端安裝在螺紋孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料臺上方，所述卸料臺頂部設置有位于晶棒下方的支撐滾軸，所述卸料臺正面設置有位于支撐滾軸前方的斜坡面。

其中，所述固定座上間隔設置有位于滑座下方的兩根導軌，所述滑座底部設置有與導軌對應的滑槽。

其中，所述抽氣硬管后端設置有閥門，所述閥門外接抽氣軟管。

其中，所述支撐滾軸外圓上包裹有與晶棒接觸的尼龍套，所述卸料臺頂部內凹設置有與支撐滾軸對應的方槽，所述方槽兩端設置有與支撐滾軸端部對應的軸承。

其中，所述固定座中設置有驅動滑座進行滑動的電動絲桿滑臺。

其中，所述斜坡面上設置有橡膠墊。

本實用新型的有益效果：一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，通過真空夾具進行多根晶棒的同時吸附固定，提升切割效率，并利用支撐滾軸進行晶棒的支撐，提升晶棒在切割時的穩定性，不會扭動而避免了晶棒的夾持損傷問題，切割下來的片材通過斜坡面進行導流，減少了沖擊問題，加強了對片材的保護，成品率高，剩下的料頭由于外圓完美，可以通過膠水進行連接延長和二次切割，提升材料的利用性。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是圖1中真空夾具的右視圖。

具體實施方式

下面結合圖1~圖2并通過具體實施例來進一步說明本實用新型的技術方案。

一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，包括：抽氣硬管7、卸料臺11、固定座1、滑座2和真空夾具9，所述卸料臺11設置在固定座1的前方，且方便固定在電火花切割設備的工作臺上。