[實用新型]一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具

有效

• 申請號: 201921661378.0
• 申請日: 2019-10-07
• 公開（公告）號: CN210850893U
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 耿靳財;王剛;徐越;祁奇
• 申請（專利權）人: 青云志能源科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04
• 代理公司: 蘇州啟華專利代理事務所(普通合伙) 32357
• 代理人: 徐偉華

1.一種半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，用于晶棒的固定和送料，其特征在于，包括：抽氣硬管、卸料臺、固定座、滑座和真空夾具，所述卸料臺設置在固定座的前方，所述滑座滑動設置在固定座上，所述真空夾具設置在滑座上，所述真空夾具正面間隔設置有數個與晶棒對應的插槽，所述插槽中同心內凹設置有真空室，所述真空夾具背面設置有與真空室相連通的螺紋孔，所述抽氣硬管前端安裝在螺紋孔中，所述晶棒后端插入插槽中且前端水平延伸至卸料臺上方，所述卸料臺頂部設置有位于晶棒下方的支撐滾軸，所述卸料臺正面設置有位于支撐滾軸前方的斜坡面。

2.根據權利要求1所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其特征在于，所述固定座上間隔設置有位于滑座下方的兩根導軌，所述滑座底部設置有與導軌對應的滑槽。

3.根據權利要求1所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其特征在于，所述抽氣硬管后端設置有閥門，所述閥門外接抽氣軟管。

4.根據權利要求1所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其特征在于，所述支撐滾軸外圓上包裹有與晶棒接觸的尼龍套，所述卸料臺頂部內凹設置有與支撐滾軸對應的方槽，所述方槽兩端設置有與支撐滾軸端部對應的軸承。

5.根據權利要求1所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其特征在于，所述固定座中設置有驅動滑座進行滑動的電動絲桿滑臺。

6.根據權利要求1所述的半導體制冷片晶棒無損電火花切片治具，其特征在于，所述斜坡面上設置有橡膠墊。