[實用新型]一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置

有效

• 申請號: 201921656547.1
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN211477974U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 王天奇
• 申請（專利權）人: 天津市曉川過濾設備發展有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06;B01D46/10;G08B21/24
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 鄭豐平

本實用新型公布了一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置，包括電熱爐主體、變頻旋鈕和電機，所述電熱爐主體的正面設置有變頻旋鈕，所述電熱爐主體的內部底端固定安裝有電機，且電機的輸出端固定安裝有轉軸，所述轉軸的外壁固定套接有軸套，且第二導電塊的外壁固定安裝有扇葉，所述電熱爐主體的外壁固定套接有外殼，所述外殼的內壁固定安裝有隔熱球。本實用新型設置有導電塊和彈簧，導電塊和彈簧可以在電熱爐空燒時停止加熱，避免空燒的情況，安全系數更高，外殼和隔熱球可以防止電熱爐主體內部的熱量向四周擴散，在配合扇葉將熱量向上散發，提升加熱效果，置放座和凹槽可以使加熱物品置放的更加穩定，避免發生打滑的情況，使用方便。

技術領域

本實用新型涉及環境凈化檢測裝置技術領域，具體為一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置。

背景技術

隨著社會的不斷發展，工業的不斷進步，光刻機是生產半導體最重要的一種機器，因為其需要的精度較大，所以工作環境一般為無塵工作環境，因此在工作時，需要對工作環境進行凈化檢測。

但是現有在檢測工作環境時，需要先進行空氣灰塵量進行檢測，隨后在通過風扇等進行凈化，使用較為麻煩，在工作時，需要定期去觀看空氣檢測的結果，導致浪費工作時間，工作效率較低，因此亟需一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的需要定期去觀看空氣檢測的結果，較為浪費工作時間，工作效率較低等問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置，包括底座、單片機、聲光報警器、灰塵檢測儀和電機，所述底座的頂端固定安裝有外殼，且外殼的內部底端插設有集灰槽，所述集灰槽的左端固定安裝有把手，所述集灰槽的頂端開設有嵌槽，所述外殼的左側開設有滑槽，且滑槽的內部插設有滑桿，所述滑桿的右端固定安裝有嵌棒，且嵌棒的頂端固定安裝有彈簧，所述外殼的頂端左側固定安裝有進風管，且進風管的內部插設有灰塵檢測儀，所述外殼的右側頂端固定安裝有出風管，所述外殼的頂端固定安裝有頂座，且頂座的內部內嵌有單片機，所述頂座的頂端固定安裝有聲光報警器，所述外殼的內部頂端固定安裝有擋板，且擋板的內部固定安裝有電機，所述電機的輸出端固定安裝有第一齒輪，所述第一齒輪的外壁嚙合有第二齒輪，所述第二齒輪的左端固定安裝有轉桿，且轉桿左側外壁固定安裝有扇葉，所述外殼內部擋板的底端固定安裝有過濾板，且過濾板的內部開設有通孔。

優選的，所述灰塵檢測儀的輸出端與單片機的輸入端電性連接，所述單片機的輸出端與聲光報警器的輸入端電性連接。

優選的，所述嵌槽的內壁直徑與嵌棒的外壁直徑大小相等，所述嵌棒插設在嵌槽的內部，所述嵌棒與嵌槽組成嵌入式結構。

優選的，所述彈簧的一端與滑槽固定韓焊接，所述彈簧的另一端與嵌棒固定焊接，所述彈簧與嵌棒組成彈性結構。

優選的，所述轉桿和第二齒輪設置有兩組，且兩組第二齒輪皆與第一齒輪相嚙合，兩組所述轉桿關于擋板中心對稱。

優選的，所述通孔的形狀為上大下小的圓錐性，且過濾板與擋板組成倒“T”字形。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該半導體光刻機設備環境凈化檢測裝置設置有聲光報警器和灰塵檢測儀，可以對工作環境進行實時監測，節省了人力，提高了工作效率，電機和過濾板可以對空氣中的灰塵進行過濾，從而對工作環境進行凈化，集灰槽和嵌棒可以方便對灰塵進行集中清理，使用方便。

(1)該裝置設置有單片機、聲光報警器和灰塵檢測儀，工作環境中的空氣進入到通過進風管進入到外殼的內部，隨后灰塵檢測儀對進入的空氣進行檢測，隨后將檢測的數據傳遞到單片機的上，隨后通過單片機預先設定的數值，當灰塵含量超出預先設置的數值時，單片機控制聲光報警器進行報警，進而提醒工作人員，節省了工作人員的時間，提高了工作效率，使用方便。