[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921656547.1
• 申請(qǐng)日: 2019-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211477974U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王天奇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津市曉川過(guò)濾設(shè)備發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): G01N15/06
• 分類號(hào): G01N15/06;B01D46/10;G08B21/24
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616
• 代理人: 鄭豐平

1.一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，包括底座(1)、單片機(jī)(6)、聲光報(bào)警器(7)、灰塵檢測(cè)儀(8)和電機(jī)(17)，其特征在于：所述底座(1)的頂端固定安裝有外殼(2)，且外殼(2)的內(nèi)部底端插設(shè)有集灰槽(3)，所述集灰槽(3)的左端固定安裝有把手(4)，所述集灰槽(3)的頂端開(kāi)設(shè)有嵌槽(11)，所述外殼(2)的左側(cè)開(kāi)設(shè)有滑槽(13)，且滑槽(13)的內(nèi)部插設(shè)有滑桿(12)，所述滑桿(12)的右端固定安裝有嵌棒(15)，且嵌棒(15)的頂端固定安裝有彈簧(14)，所述外殼(2)的頂端左側(cè)固定安裝有進(jìn)風(fēng)管(9)，且進(jìn)風(fēng)管(9)的內(nèi)部插設(shè)有灰塵檢測(cè)儀(8)，所述外殼(2)的右側(cè)頂端固定安裝有出風(fēng)管(10)，所述外殼(2)的頂端固定安裝有頂座(5)，且頂座(5)的內(nèi)部?jī)?nèi)嵌有單片機(jī)(6)，所述頂座(5)的頂端固定安裝有聲光報(bào)警器(7)，所述外殼(2)的內(nèi)部頂端固定安裝有擋板(16)，且擋板(16)的內(nèi)部固定安裝有電機(jī)(17)，所述電機(jī)(17)的輸出端固定安裝有第一齒輪(18)，所述第一齒輪(18)的外壁嚙合有第二齒輪(19)，所述第二齒輪(19)的左端固定安裝有轉(zhuǎn)桿(20)，且轉(zhuǎn)桿(20)左側(cè)外壁固定安裝有扇葉(21)，所述外殼(2)內(nèi)部擋板(16)的底端固定安裝有過(guò)濾板(22)，且過(guò)濾板(22)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有通孔(23)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，其特征在于：所述灰塵檢測(cè)儀(8)的輸出端與單片機(jī)(6)的輸入端電性連接，所述單片機(jī)(6)的輸出端與聲光報(bào)警器(7)的輸入端電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，其特征在于：所述嵌槽(11)的內(nèi)壁直徑與嵌棒(15)的外壁直徑大小相等，所述嵌棒(15)插設(shè)在嵌槽(11)的內(nèi)部，所述嵌棒(15)與嵌槽(11)組成嵌入式結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，其特征在于：所述彈簧(14)的一端與滑槽(13)固定韓焊接，所述彈簧(14)的另一端與嵌棒(15)固定焊接，所述彈簧(14)與嵌棒(15)組成彈性結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)桿(20)和第二齒輪(19)設(shè)置有兩組，且兩組第二齒輪(19)皆與第一齒輪(18)相嚙合，兩組所述轉(zhuǎn)桿(20)關(guān)于擋板(16)中心對(duì)稱。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體光刻機(jī)設(shè)備環(huán)境凈化檢測(cè)裝置，其特征在于：所述通孔(23)的形狀為上大下小的圓錐性，且過(guò)濾板(22)與擋板(16)組成倒“T”字形。