[實用新型]一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置有效
| 申請號: | 201921646308.8 | 申請日: | 2019-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN210467780U | 公開(公告)日: | 2020-05-05 |
| 發明(設計)人: | 葉國萍;胡志軍 | 申請(專利權)人: | 匯隆電子(金華)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;G01B11/00;G01B11/06;G01N21/84 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 321000 浙江省金華市經*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 芯片 工藝 ccd 識別 檢測 裝置 | ||
1.一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,包括CCD識別檢測裝置、芯片運輸軌、搬運機械手,其特征是:所述CCD識別檢測裝置包括CCD識別上點攝像頭、識別座、下點掃描儀,CCD識別上點攝像頭懸置在支撐架桿上,同一豎向軸線下方設置識別座,識別座的下方設置下點掃描儀;所述識別座還連接設置有振擺臂,所述振擺臂包括振擺彎臂和振擺電機,所述支撐架桿平行識別座設置的位置設置有擺臂架,擺臂架朝向芯片運輸軌一側設置有轉軸孔,轉軸孔內設置軸承并插接振擺電機的機軸,匹配轉軸孔振擺彎臂頭尾端都設置螺絲孔,機軸最頂端插入振擺彎臂的螺絲孔,機軸的頂部插入螺絲孔并固定螺帽實現機軸和振擺彎臂的連接,機軸轉動時驅動振擺彎臂進行轉動,所述振擺彎臂的頭端會和識別座連接,從而帶動識別座也進行轉動;
所述芯片運輸軌、搬運機械手設置在同一橫向軸線上,芯片運輸軌的尾端位置設置CCD識別檢測裝置,所述芯片運輸軌的頂部懸置搬運機械手。
2.根據權利要求1所述的一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,其特征是:所述搬運機械手為磁吸附機械手或氣吸附機械手,包括移動軌、供電控制機或供氣控制機,移動軌上套合龍門滑軌,龍門滑軌懸置磁吸頭或氣吸頭,磁吸頭或氣吸頭對應供電控制機或供氣控制機進行電路連接或氣道連接。
3.根據權利要求1所述的一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,其特征是:所述芯片運輸軌和CCD識別檢測裝置為平行設置,CCD識別檢測裝置與移動軌為T字形設置。
4.根據權利要求1所述的一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,其特征是:所述芯片運輸軌和CCD識別檢測裝置為T字形狀設置。
5.根據權利要求1所述的一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,其特征是:所述支撐架桿上還利用滑桿夾固定設置有監視屏,所述監視屏電連接CCD識別檢測裝置。
6.根據權利要求1所述的一種石英芯片點膠工藝CCD識別檢測裝置,其特征是:所述振擺彎臂為L形狀或F形狀板體或桿體。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





