[實用新型]一種墊條結構及流水線旋轉平臺有效
| 申請號: | 201921627412.2 | 申請日: | 2019-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN211265439U | 公開(公告)日: | 2020-08-14 |
| 發明(設計)人: | 王彬源;徐朋翔;孔鎖元;胡誠 | 申請(專利權)人: | 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 北京知迪知識產權代理有限公司 11628 | 代理人: | 王勝利 |
| 地址: | 225300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 結構 流水線 旋轉 平臺 | ||
1.一種墊條結構,其特征在于,包括墊板,自所述墊板的支撐面向下開設的若干容納空間,所述容納空間間隔設置,兩個相鄰的所述容納空間之間由支撐肋條隔開;
所述支撐肋條的縱切面形狀相同,且均為梯形、三角形或半圓形中的任意一種;
或,
所述支撐肋條的縱切面形狀不同,為梯形、三角形或半圓形中的任意兩者的組合、或者三者的組合。
2.根據權利要求1所述的墊條結構,其特征在于,所述支撐肋條的縱切面形狀相同,且均為等腰梯形。
3.根據權利要求1所述的墊條結構,其特征在于,若干所述支撐肋條相互平行。
4.根據權利要求1所述的墊條結構,其特征在于,若干所述支撐肋條的間距相等。
5.根據權利要求4所述的墊條結構,其特征在于,若干所述支撐肋條的間距均為5-10毫米。
6.一種流水線旋轉平臺,其特征在于,至少包括:
承載面,所述承載面能夠旋轉;
以及權利要求1-5任一項所述的墊條結構,所述墊條結構可轉動地或固定設置在所述承載面上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





