[實用新型]一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921626002.6
• 申請日: 2019-09-27
• 公開（公告）號: CN210403691U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設計）人: 唐陽明
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

本實用新型公開了一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂，包括手臂本體，還包括兩個與手臂本體滑動連接的調節(jié)座，所述調節(jié)座內設有真空通道，所述調節(jié)座上固定連接有球頭座，所述球頭座上固定連接有頂部、底部均為平面的球頭，所述球頭頂部固定連接有限位板，所述限位板上設有通孔，所述通孔向下延伸依次貫穿球頭、球頭座并與真空通道連通，所述球頭外部可轉動地套接有吸盤座，所述吸盤座可相對球頭在一定范圍內擺動，所述吸盤座頂部安裝有吸盤，所述吸盤與通孔連通。本實用新型能夠適應不同尺寸的晶圓及發(fā)生翹曲的晶圓。

技術領域

本實用新型涉及傳送手臂裝置領域，尤其涉及一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂。

背景技術

目前，半導體設備的傳送機器人上安裝的傳送手臂有用真空吸附式的，但晶圓在制作過程中有時會發(fā)生翹曲，普通的傳送手臂在傳送過程中，由于晶圓的翹曲，手臂不能完全吸住晶圓，甚至會發(fā)生掉片，造成不必要的損失。另一方面現(xiàn)有的傳送臂多數(shù)為一種尺寸的晶圓而設計，為了適用不同的尺寸的晶圓需要購買不同尺寸的傳送臂，極大增加了生產(chǎn)成本。

實用新型內容

為了解決上述背景技術中所提到的問題，本實用新型提供了一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂，能夠適應不同尺寸的晶圓及發(fā)生翹曲的晶圓。

一種用于涂膠顯影設備的晶圓傳送手臂，包括手臂本體，還包括兩個與手臂本體滑動連接的調節(jié)座，所述調節(jié)座內設有真空通道，所述調節(jié)座上固定連接有球頭座，所述球頭座上固定連接有頂部、底部均為平面的球頭，所述球頭頂部固定連接有限位板，所述限位板上設有通孔，所述通孔向下延伸依次貫穿球頭、球頭座并與真空通道連通，所述球頭外部可轉動地套接有吸盤座，所述吸盤座可相對球頭在一定范圍內擺動，所述吸盤座頂部安裝有吸盤，所述吸盤與通孔連通。

進一步地，所述手臂本體一端設有滑槽，兩所述調節(jié)座的一端均固定連接有設在滑槽內部并與滑槽相配合的滑塊，兩所述滑塊上均設有至少一個豎直分布的螺紋孔，所述滑槽與螺紋孔相對的一端側壁設有長條通孔，所述長條通孔貫穿有與螺紋孔螺紋連接的螺栓組件。

進一步地，兩所述調節(jié)座彼此遠離的一側均設有真空氣孔接頭，所述調節(jié)座頂部設有與通孔連通的第一通氣孔，所述真空通道一端延伸至真空氣孔接頭與真空氣孔接頭連通，所述真空通道的另一端延伸至第一通氣孔與第一通氣孔連通。

進一步地，所述吸盤座為上寬下窄的喇叭狀結構且內部有空腔，所述吸盤座的底部側壁可轉動地套接球頭外部，所述吸盤座的底部側壁可相對球頭在一定范圍內擺動，所述吸盤座的頂部側壁與限位板間留有間隙，所述吸盤座的頂部側壁設有第二通氣孔，所述第二通氣孔與吸盤連通。

進一步地，所述球頭座設在調節(jié)座遠離手臂本體的一端。

進一步地，所述真空氣孔接頭設在調節(jié)座靠近手臂本體的一端。

進一步地，每一所述滑塊上的螺紋孔設有兩個。

進一步地，所述吸盤底部與第二通氣孔位置相對應處設有抽氣孔。

本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型可通過調節(jié)滑塊在滑槽內的位置來使傳送臂適用于不同尺寸的晶圓。

2、本實用新型的吸盤座與球頭可轉動連接，從而使得吸盤座可相對球頭在一定范圍內擺動，當吸附發(fā)生翹曲的晶圓時，吸盤座可相對球頭座擺動調節(jié)吸盤的角度，使吸盤與生翹曲的晶圓貼合，避免在傳送過程中發(fā)生掉片。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的主視圖。

圖3為圖2的A處放大圖。

圖4為本實用新型的內部結構示意圖。

圖5為圖4的B處放大圖。