[實(shí)用新型]一種用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921626002.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210403691U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐陽(yáng)明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 上海匯齊專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31364
• 代理人: 朱明福

1.一種用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，包括手臂本體，其特征在于，還包括兩個(gè)與手臂本體滑動(dòng)連接的調(diào)節(jié)座，所述調(diào)節(jié)座內(nèi)設(shè)有真空通道，所述調(diào)節(jié)座上固定連接有球頭座，所述球頭座上固定連接有頂部、底部均為平面的球頭，所述球頭頂部固定連接有限位板，所述限位板上設(shè)有通孔，所述通孔向下延伸依次貫穿球頭、球頭座并與真空通道連通，所述球頭外部可轉(zhuǎn)動(dòng)地套接有吸盤座，所述吸盤座可相對(duì)球頭在一定范圍內(nèi)擺動(dòng)，所述吸盤座頂部安裝有吸盤，所述吸盤與通孔連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，所述手臂本體一端設(shè)有滑槽，兩所述調(diào)節(jié)座的一端均固定連接有設(shè)在滑槽內(nèi)部并與滑槽相配合的滑塊，兩所述滑塊上均設(shè)有至少一個(gè)豎直分布的螺紋孔，所述滑槽與螺紋孔相對(duì)的一端側(cè)壁設(shè)有長(zhǎng)條通孔，所述長(zhǎng)條通孔貫穿有與螺紋孔螺紋連接的螺栓組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，兩所述調(diào)節(jié)座彼此遠(yuǎn)離的一側(cè)均設(shè)有真空氣孔接頭，所述調(diào)節(jié)座頂部設(shè)有與通孔連通的第一通氣孔，所述真空通道一端延伸至真空氣孔接頭與真空氣孔接頭連通，所述真空通道的另一端延伸至第一通氣孔與第一通氣孔連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，所述吸盤座為上寬下窄的喇叭狀結(jié)構(gòu)且內(nèi)部有空腔，所述吸盤座的底部側(cè)壁可轉(zhuǎn)動(dòng)地套接球頭外部，所述吸盤座的底部側(cè)壁可相對(duì)球頭在一定范圍內(nèi)擺動(dòng)，所述吸盤座的頂部側(cè)壁與限位板間留有間隙，所述吸盤座的頂部側(cè)壁設(shè)有第二通氣孔，所述第二通氣孔與吸盤連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，所述球頭座設(shè)在調(diào)節(jié)座遠(yuǎn)離手臂本體的一端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，所述真空氣孔接頭設(shè)在調(diào)節(jié)座靠近手臂本體的一端。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，每一所述滑塊上的螺紋孔設(shè)有兩個(gè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于涂膠顯影設(shè)備的晶圓傳送手臂，其特征在于，所述吸盤底部與第二通氣孔位置相對(duì)應(yīng)處設(shè)有抽氣孔。