[實用新型]一種用于芯片制造中抽檢裝置

有效

• 申請號: 201921609841.7
• 申請日: 2019-09-25
• 公開（公告）號: CN210429743U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 蔡曉麗
• 申請（專利權）人: 江西齊拓芯片科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677;H01L21/673;H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 黃亮亮

本實用新型公開了一種用于芯片制造中抽檢裝置，屬于芯片生產技術領域，所述用于芯片制造中抽檢裝置包括封箱，所述封箱右側壁開設有進料口，且封箱左側壁開設有出料口，所述進料口與出料口內部銜接有傳送帶，所述傳送帶底部傳動連接有傳動輥，所述傳動輥上轉動連接有傳動軸，所述傳動軸動力輸入端與電機動力輸出端相連接，所述封箱頂端內側壁銜接有步進電機。本實用新型通過增加有芯片裝槽，可以在對芯片傳輸過程中起到導向作用，設備可自行對芯片進行檢測，無需人工操作，節省了人力，通過增加封箱，避免了外界溫度灰塵等因素影響到檢測過程，進而保證檢測結果不會產生錯誤偏差，適合被廣泛推廣和使用。

技術領域

本實用新型涉及芯片生產技術領域，尤其涉及一種用于芯片制造中抽檢裝置。

背景技術

芯片在電子學中是一種把主要包括半導體設備、也包括被動組件等的電路小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上。芯片在生產制造過程中需要進行抽檢，從而對一期芯片產品的合格率進行統計。

目前，用于芯片制造中的抽檢技術上存在一定的缺陷：1、芯片在具體投入檢測時不好導向的問題；2、設備自動化程度低導致需要人工手持檢測探針進行檢測，耗費人力的問題；3、檢測過程中容易受到外界溫度灰塵等因素從而影響檢測結果可靠度，以及封箱內部不易散熱的問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種用于芯片制造中抽檢裝置，通過增加有芯片裝槽，可以在對芯片傳輸過程中起到導向作用，設備可自行對芯片進行檢測，無需人工操作，節省了人力，通過增加封箱，避免了外界溫度灰塵等因素影響到檢測過程，進而保證檢測結果不會產生錯誤偏差，可以有效解決背景技術中的問題。

本實用新型提供的具體技術方案如下：

本實用新型提供的一種用于芯片制造中抽檢裝置，包括封箱，所述封箱右側壁開設有進料口，且封箱左側壁開設有出料口，所述進料口與出料口內部銜接有傳送帶，所述傳送帶底部傳動連接有傳動輥，所述傳動輥上轉動連接有傳動軸，所述傳動軸動力輸入端與電機動力輸出端相連接，所述封箱頂端內側壁銜接有步進電機，所述步進電機動力輸出端與轉軸動力輸入端相連接，所述轉軸末端轉動連接有齒輪，所述齒輪右側嚙合連接有齒條，所述齒條下端插接有檢測探針，所述檢測探針信號輸出端與數據連接線信號輸入端相連接，所述數據連接線信號輸出端與參數顯示屏信號輸入端相連接，所述封箱底部內側壁固定連接散熱板，所述散熱板內部安裝有散熱扇。

可選的，所述封箱外表面鑲嵌連接有觀察鏡面，且封箱底部固定連接有支腳。

可選的，所述參數顯示屏信號輸入端與開關A信號輸入端相連接，且參數顯示屏外側壁銜接有故障顯示燈。

可選的，所述步進電機信號輸入端與開關B信號輸出端相連接，所述電機信號輸入端與開關C信號輸出端相連接。

可選的，所述散熱扇信號輸入端與開關D信號輸出端相連接，所述散熱板上表面開設有通風孔。

本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型實用，操作方便且使用效果好，工作人員將生產完畢的芯片裝入芯片裝槽內，芯片裝槽的大小是根據芯片大小來進行設定的，可以對放入其中的芯片進行良好固定，通過增加有芯片裝槽，從而使得芯片在后續傳輸過程中保證其位置不會產生偏移，可以起到很好的導向作用，從而解決了芯片在具體投入檢測時不好導向的問題。