[實用新型]一種用于芯片制造中抽檢裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921609841.7
• 申請日: 2019-09-25
• 公開（公告）號: CN210429743U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設計）人: 蔡曉麗
• 申請（專利權）人: 江西齊拓芯片科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/677;H01L21/673;H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129
• 代理人: 黃亮亮

1.一種用于芯片制造中抽檢裝置，包括封箱(1)，其特征在于，所述封箱(1)右側壁開設有進料口(2)，且封箱(1)左側壁開設有出料口(3)，所述進料口(2)與出料口(3)內部銜接有傳送帶(4)，所述傳送帶(4)底部傳動連接有傳動輥(15)，所述傳動輥(15)上轉動連接有傳動軸(16)，所述傳動軸(16)動力輸入端與電機(17)動力輸出端相連接，所述封箱(1)頂端內側壁銜接有步進電機(12)，所述步進電機(12)動力輸出端與轉軸(13)動力輸入端相連接，所述轉軸(13)末端轉動連接有齒輪(14)，所述齒輪(14)右側嚙合連接有齒條(10)，所述齒條(10)下端插接有檢測探針(11)，所述檢測探針(11)信號輸出端與數據連接線(9)信號輸入端相連接，所述數據連接線(9)信號輸出端與參數顯示屏(5)信號輸入端相連接，所述封箱(1)底部內側壁固定連接散熱板(18)，所述散熱板(18)內部安裝有散熱扇(19)。

2.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述封箱(1)外表面鑲嵌連接有觀察鏡面(7)，且封箱(1)底部固定連接有支腳(8)。

3.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述參數顯示屏(5)信號輸入端與開關A(21)信號輸入端相連接，且參數顯示屏(5)外側壁銜接有故障顯示燈(6)。

4.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述步進電機(12)信號輸入端與開關B(22)信號輸出端相連接，所述電機(17)信號輸入端與開關C(23)信號輸出端相連接。

5.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述散熱扇(19)信號輸入端與開關D(24)信號輸出端相連接，所述散熱板上表面開設有通風孔。