[實用新型]真空泵減壓裝置和減壓真空泵

有效

• 申請號: 201921601846.5
• 申請日: 2019-09-24
• 公開（公告）號: CN210977860U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: F04C18/00
• 分類號: F04C18/00;F04C23/00;F04C29/12
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 虞凌霄

本實用新型涉及一種真空泵減壓裝置和減壓真空泵，該真空泵減壓裝置設有進氣通道端、排氣通道端和減壓腔，通過在減壓腔設置氣體加速模塊，使氣體加速區內的氣體流速大于氣體流入區內的氣體流速，根據伯努利原理(氣體流速越大，壓強越小)，通過速度變化，使原本壓強相近的進氣通道端和排氣通道端產生正壓強差，兩端產生的壓強差帶動進氣通道端的氣體流速變大。從而緩解了進氣通道端的排氣阻力，使真空泵的轉子轉動速率下降，從而預防了真空泵的過度磨損，延長了真空泵的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種真空泵減壓裝置和減壓真空泵。

背景技術

近年來，半導體行業飛速發展，市場對半導體的產品質量和生產效率提出了更高的要求。因此，生產企業必須不斷改進和完善自身的生產設備和工藝水平才能適應新的市場需求。

目前，對于半導體器件的加工所常用的技術手段是諸如刻蝕和物理氣象沉積等加工工藝。由于上述工藝對于工藝腔室的潔凈度和真空度的要求非常高，因此，需要借助機械泵、分子泵等真空泵設備使工藝腔室內的氣壓從大氣壓降低至真空狀態。

據統計，超過90％的真空泵更換是由于真空泵的排氣端氣壓過高，導致主泵的轉子轉動速度過快導致的磨損或過載，普遍的預防保養方式是定義固定時間做更換(Overhaul)來降低風險，而真空泵的更換需要耗費大量的人力、金錢和機臺使用時間資源。

實用新型內容

基于此，有必要針對真空泵排氣端壓力過大導致主泵磨損或過載的技術問題，提供一種真空泵減壓裝置和減壓真空泵。

為了實現本實用新型的目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種真空泵減壓裝置，設有：

進氣通道端；

排氣通道端；

減壓腔，所述減壓腔連接所述進氣通道端和所述排氣通道端，所述減壓腔內設有預定氣流路徑，所述進氣通道端輸出的氣體沿所述預定氣流路徑進入所述排氣通道端，且所述進氣通道端與所述排氣通道端存在正壓強差。

下面進一步對技術方案進行說明：

在其中一個實施例中，所述減壓腔內設有擋板；所述擋板用于限定所述預定氣流路徑，并將所述預定氣流路徑劃分為靠近所述進氣通道端的氣體流入區和靠近排氣通道端的氣體加速區。

在其中一個實施例中，所述減壓腔還包括氣體加速模塊，所述氣體加速模塊用于控制所述氣體加速區內氣體的流動速度，所述氣體流入區內氣體流速小于所述氣體加速區內氣體流速。

在其中一個實施例中，所述擋板靠近所述氣體加速區一側的面與所述減壓腔的內壁間的夾角范圍為45°至90°，所述擋板在所述夾角范圍內轉動。

在其中一個實施例中，所述擋板還將所述預定氣流路徑劃分出氣體引導區，所述氣體引導區位于所述氣體流入區與所述氣體加速區之間，用于引導氣體從所述氣體流入區進入所述氣體加速區，且所述氣體加速模塊不控制所述氣體引導區內氣體的流速。

在其中一個實施例中，所述氣體加速模塊設有閥門，用于控制所述氣體加速區內氣體的流動速度。

在其中一個實施例中，所述減壓腔還包括集塵組件，所述集塵組件設置在所述擋板與氣體流入區的重疊的范圍內。

在其中一個實施例中，所述減壓腔外壁上設置有可開閉的排塵口，所述排塵口貼合所述集塵組件，用于所述集塵組件排塵。

在其中一個實施例中，所述排塵口設有透明鏡。

本實用新型的技術方案還提供了一種減壓真空泵，包括前述的真空泵減壓裝置，所述真空泵減壓裝置的進氣通道端與真空泵的排氣端連接。