[實(shí)用新型]真空泵減壓裝置和減壓真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921601846.5
• 申請日: 2019-09-24
• 公開（公告）號: CN210977860U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: F04C18/00
• 分類號: F04C18/00;F04C23/00;F04C29/12
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 虞凌霄

1.真空泵減壓裝置，其特征在于，所述真空泵減壓裝置設(shè)有：

進(jìn)氣通道端，用于連接真空泵的排氣端；

排氣通道端；

減壓腔，所述減壓腔連接所述進(jìn)氣通道端和所述排氣通道端，所述減壓腔內(nèi)設(shè)有預(yù)定氣流路徑，所述進(jìn)氣通道端輸出的氣體沿所述預(yù)定氣流路徑進(jìn)入所述排氣通道端，且所述進(jìn)氣通道端與所述排氣通道端存在正壓強(qiáng)差。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述減壓腔的內(nèi)壁連接設(shè)置有擋板，所述擋板用于限定所述預(yù)定氣流路徑，并將所述減壓腔劃分為：

氣體流入?yún)^(qū)，所述氣體流入?yún)^(qū)靠近所述進(jìn)氣通道端；

氣體加速區(qū)，所述氣體加速區(qū)靠近所述排氣通道端，所述氣體加速區(qū)內(nèi)的氣體流速大于所述氣體流入?yún)^(qū)內(nèi)的氣體流速；

氣體引導(dǎo)區(qū)，所述氣體引導(dǎo)區(qū)設(shè)于所述氣體流入?yún)^(qū)和所述氣體加速區(qū)之間，用于引導(dǎo)氣體從所述氣體流入?yún)^(qū)進(jìn)入所述氣體加速區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述擋板與所述減壓腔的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接，所述擋板在設(shè)定的夾角范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述擋板遠(yuǎn)離所述減壓腔的內(nèi)壁的一端設(shè)置有鎖緊件，所述鎖緊件用于固定擋板在設(shè)定的位置鎖緊。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述擋板靠近氣體流入?yún)^(qū)一側(cè)的面為弧面。

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5任一項(xiàng)所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述擋板的內(nèi)部為空心、網(wǎng)狀或?qū)嵭慕Y(jié)構(gòu)中的一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述真空泵減壓裝置包括氣體加速模塊，用于加速所述氣體加速區(qū)內(nèi)的氣體流動速度。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述減壓腔還包括集塵組件，所述集塵組件設(shè)置在所述擋板與氣體流入?yún)^(qū)的重疊的范圍內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空泵減壓裝置，其特征在于，所述減壓腔設(shè)有排塵口，所述排塵口貼合所述集塵組件；

所述集塵組件靠近所述排塵口的一側(cè)設(shè)置有開孔，用于排出集塵組件中的異物。

10.一種減壓真空泵，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的真空泵減壓裝置，所述真空泵減壓裝置的進(jìn)氣通道端與真空泵的排氣端連接。