[實用新型]一種新型的硅片承載器有效

申請號：	201921601140.9	申請日：	2019-09-25
公開（公告）號：	CN210378994U	公開（公告）日：	2020-04-21
發明（設計）人：	張獻	申請（專利權）人：	張獻
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	北京匯信合知識產權代理有限公司 11335	代理人：	陳紅
地址：	215600 江蘇省蘇州市***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種新型硅片承載
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【權利要求書】：

1.一種新型的硅片承載器，其特征在于：它包含上金屬擋板、下金屬擋板、調節機構、硅片層架、硅片定位桿和緩沖桿；所述的上金屬擋板和下金屬擋板上分別設置有調節機構，硅片層架的兩端分別通過調節機構固定有上金屬擋板和下金屬擋板，上金屬擋板與下金屬擋板的中部連接有緩沖桿，緩沖桿的兩側分別設置有硅片定位桿，硅片定位桿的兩端分別通過螺絲與上金屬擋板和下金屬擋板固定；所述的調節機構包含模塊安裝槽、模塊、螺絲孔和螺絲；所述的上金屬擋板和下金屬擋板上分別設置有模塊安裝槽，模塊安裝槽內配合安裝有模塊，模塊和模塊安裝槽內分別設置有螺絲孔，螺絲穿過螺絲孔與硅片層架固定；所述的硅片定位桿上中部設置有與硅片層架層距一致的隔條，隔條的兩側分別設置有緩沖塑料條；所述的硅片層架上固定有數根螺紋桿。

2.根據權利要求1所述的一種新型的硅片承載器，其特征在于：所述的模塊安裝槽和模塊為腰形形狀。

3.根據權利要求1所述的一種新型的硅片承載器，其特征在于：所述的緩沖桿位于兩根硅片定位桿上的隔條所在平面的前側，緩沖塑料條凸出于隔條，緩沖塑料條與緩沖桿在同一平面內。

4.根據權利要求1所述的一種新型的硅片承載器，其特征在于：所述的緩沖桿外部套設有彈性塑膠套。

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