[實用新型]一種花籃桿組件和花籃有效
| 申請號: | 201921596194.0 | 申請日: | 2019-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN211295060U | 公開(公告)日: | 2020-08-18 |
| 發明(設計)人: | 陳林 | 申請(專利權)人: | 楚雄隆基硅材料有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
| 地址: | 651299 云南*** | 國省代碼: | 云南;53 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 花籃 組件 | ||
1.一種花籃桿組件,其特征在于,包括:支撐桿和齒槽桿,所述齒槽桿包括齒槽桿本體和多個花籃齒,所述多個花籃齒依次間隔安裝于所述齒槽桿本體,兩個相鄰的所述花籃齒之間構成用于容納硅片的齒槽,所述齒槽桿本體可拆卸地安裝于所述支撐桿;其中,所述多個花籃齒和所述支撐桿在所述齒槽桿本體上相對設置或相鄰設置。
2.根據權利要求1所述的花籃桿組件,其特征在于,所述齒槽桿本體和所述多個花籃齒一體成型。
3.根據權利要求1所述的花籃桿組件,其特征在于,所述齒槽桿本體的第一表面上設置有至少一個第一螺栓/第一螺母,所述齒槽桿本體的第一表面為所述齒槽桿本體與所述支撐桿之間安裝接觸的表面;所述支撐桿上設置有至少一個第一通孔,所述第一通孔貫穿所述支撐桿的第一表面和第二表面,所述支撐桿的第一表面為所述支撐桿與所述齒槽桿本體之間安裝接觸的表面,所述支撐桿的第二表面為與所述支撐桿的第一表面相對的表面;所述第一螺栓/第一螺母穿過所述第一通孔與所述第一螺母/第一螺栓螺接,以將所述齒槽桿本體可拆卸地安裝于所述支撐桿。
4.根據權利要求1所述的花籃桿組件,其特征在于,所述花籃桿組件還包括緊固件,所述齒槽桿本體在靠近所述支撐桿的第一表面處形成為凹槽結構,所述緊固件將所述支撐桿固定在所述凹槽結構內。
5.根據權利要求4所述的花籃桿組件,其特征在于,所述緊固件包括卡扣和定位銷,所述卡扣設置在所述凹槽結構的端面上,所述卡扣用于將所述支撐桿固定在所述凹槽結構內,所述定位銷設置在所述凹槽結構內,所述支撐桿上設置有至少一個銷孔,所述定位銷插設在所述銷孔內。
6.根據權利要求4所述花籃桿組件,其特征在于,所述緊固件包括第二螺栓和第二螺母,所述凹槽結構包括第一側壁和第二側壁,所述第一側壁上設置有第二通孔,所述第二側壁上設置有與所述第二通孔相對的第三通孔;所述支撐桿上設置有第四通孔,所述第四通孔貫穿所述支撐桿的第三表面和第四表面,所述第二螺栓/所述第二螺母貫穿所述第二通孔、所述第三通孔和所述第四通孔、且與所述第二螺母/所述第二螺栓螺接,用于將所述支撐桿固定在所述凹槽結構內。
7.根據權利要求6所述花籃桿組件,其特征在于,所述第二通孔的個數、所述第三通孔的個數、以及所述第四通孔的個數分別為至少一個,相鄰的兩個所述第二通孔相互獨立且間隔設置,相鄰的兩個所述第三通孔相互獨立且間隔設置,相鄰的兩個所述第四通孔相互獨立且間隔設置。
8.根據權利要求4所述的花籃桿組件,其特征在于,所述緊固件包括第三螺栓和第三螺母,所述凹槽結構的底面上設置有至少一個所述第三螺栓/所述第三螺母,所述支撐桿上設置有至少一個第五通孔,所述第五通孔貫穿所述支撐桿的第一表面和第二表面,所述第三螺栓/所述第三螺母穿過所述第五通孔與所述第三螺母/所述第三螺栓螺接,用于將所述支撐桿固定在所述凹槽結構內。
9.一種花籃,其特征在于,包括多個花籃桿、兩個支撐板和至少一個如權利要求1-8任一項所述的花籃桿組件,所述兩個支撐板分別連接于所述多個花籃桿兩端,所述花籃桿組件的支撐桿連接于所述兩個支撐板之間,所述支撐桿、多個花籃桿及所述兩個支撐板共同組成所述花籃的主體,所述齒槽桿本體可拆卸地安裝于所述支撐桿,所述多個花籃齒依次間隔安裝于所述齒槽桿本體。
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





