[實(shí)用新型]一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備快排清洗槽裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921594983.0
• 申請(qǐng)日: 2019-09-24
• 公開（公告）號(hào): CN210325718U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳利鋒;陳素榮;何婷婷;王福亮;何虎;趙芹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備快排清洗槽裝置，其特征在于，包括槽體和設(shè)置在槽體底部的溢流機(jī)構(gòu)，所述溢流機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的進(jìn)水管和水平設(shè)置在所述進(jìn)水管頂端的分布頭；

所述進(jìn)水管的底端內(nèi)壁上凸起設(shè)有臺(tái)面，以使所述進(jìn)水管用于進(jìn)水的底端管徑小于用于出水的頂端管徑；

所述分布頭包括圓弧板、連接座、導(dǎo)流板、分流柱、側(cè)擋板，所述連接座套接設(shè)置在所述進(jìn)水管頂端，所述導(dǎo)流板為兩塊，兩塊所述導(dǎo)流板關(guān)于進(jìn)水管、連接座的軸線對(duì)稱設(shè)置，所述圓弧板設(shè)置在頂部，以與導(dǎo)流板、連接座、側(cè)擋板合圍形成分布空間，所述導(dǎo)流板為等腰梯形狀，所述導(dǎo)流板的寬邊一側(cè)與所述連接座固定連接，所述導(dǎo)流板的窄邊一側(cè)向斜上方延伸設(shè)置；

所述圓弧板上沿周向間隔均勻設(shè)有多排溢流孔，多排所述溢流孔的孔徑由圓弧板頂部向兩側(cè)底部逐漸加大；

所述分流柱與所述連接座固定連接且貫穿分布空間設(shè)置，所述分流柱的底面為圓弧面，所述圓弧面的軸線垂直于所述圓弧板和進(jìn)水管的軸線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備快排清洗槽裝置，其特征在于，所述溢流機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述槽體底部中間位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓化鍍?cè)O(shè)備快排清洗槽裝置，其特征在于，所述溢流機(jī)構(gòu)采用聚偏氟乙烯材料制作。