[實用新型]電容器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921569163.6
• 申請日: 2019-09-20
• 公開（公告）號: CN210778270U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·布夫尼徹爾
• 申請（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體(圖爾)公司
• 主分類號: H01G4/30
• 分類號: H01G4/30;H01G4/38;H01G4/005;H01G4/06;H01G4/224
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 傅遠(yuǎn)

本公開的實施例涉及電容器。一種垂直電容器，包括共形地覆蓋第一材料的壁的層的堆疊。壁從由第二材料制成的基板延伸，第二材料與第一材料不同。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開總體上涉及電子部件，更具體地，涉及電容器。

背景技術(shù)

電容器是存在于電子電路中的部件。電容器是電子部件，通常包括由絕緣層隔開的兩個電極。

在電子部件小型化的背景下，目前希望增加針對給定基板表面區(qū)域所獲得的電容。

實用新型內(nèi)容

本公開的實施例使得能夠克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點中的至少一些缺點。

本公開的實施例提供了一種垂直電容器，其包括共形地覆蓋第一材料的至少壁的層的堆疊，該壁從由第二材料制成的基板延伸，第二材料與第一材料不同。

根據(jù)實施例，層的堆疊進一步在壁之間在基板上延伸并且覆蓋所述基板。

根據(jù)實施例，第一材料是氧化硅。

根據(jù)實施例，該堆疊包括絕緣層和導(dǎo)電層的交替，堆疊的下層和上層是導(dǎo)電層。

根據(jù)實施例，在俯視圖中，每個壁形成幾何形狀的輪廓。

根據(jù)實施例，堆疊在幾何形狀的輪廓的內(nèi)部和外部延伸。

根據(jù)實施例，輪廓內(nèi)的基板覆蓋有由第一材料制成的層。

根據(jù)實施例，堆疊在壁的至少一部分的兩個相對側(cè)上延伸。

根據(jù)實施例，每個壁的最小尺寸小于150nm。

根據(jù)實施例，第二材料是能夠被氧化的材料。

本公開的實施例可以能夠增加給定基板表面區(qū)域上的電容器的電容。

在以下結(jié)合附圖的特定實施例的非限制性描述中對前述和其他特征和優(yōu)點進行詳細(xì)討論。

附圖說明

圖1A和圖1B示意性地且部分地示出了根據(jù)本公開的實施例的兩個電容器；

圖2A至圖2C以俯視圖示出了圖1A和圖1B的結(jié)構(gòu)的部分的示例；

圖3A和圖3B示意性地且部分地示出了由根據(jù)本公開的電容器制造方法的實施例的步驟產(chǎn)生的兩個結(jié)構(gòu)；

圖4A和圖4B部分地且示意性地示出了由電容器制造方法的實施例的其他步驟產(chǎn)生的兩個結(jié)構(gòu)；

圖5示意性地且部分地示出了由電容器制造方法的實施例的步驟產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)；以及

圖6示意性地且部分地示出了通過實施圖3A、圖3B、圖4A、圖4B和圖5的方法獲得的電容器的另一示例。

具體實施方式

在不同的附圖中，相同的元件用相同的附圖標(biāo)記表示。具體地，不同實施例共有的結(jié)構(gòu)和/或功能元件可以用相同的附圖標(biāo)記表示，并且可以具有相同的結(jié)構(gòu)、尺寸和材料特性。

為了清楚起見，僅示出了并且詳細(xì)描述了對理解所描述的實施例有用的那些步驟和元件。

在整個本公開中，術(shù)語“連接”被用于表示電路元件之間的直接電連接，而沒有除導(dǎo)體之外的中間元件，而術(shù)語“耦合”被用于表示電路元件之間的電連接，其可以是直接的，也可以是通過一個或多個中間元件。除非另有說明，否則當(dāng)術(shù)語“耦合”被使用時，連接可以通過直接連接來實現(xiàn)。

在以下描述中，當(dāng)參考限定絕對位置(諸如術(shù)語“前”、“后”、“頂部”、“底部”、“左”、“右”等)或相對位置(諸如術(shù)語“上方”、“下方”、“上部”、“下部”等)的術(shù)語或限定方向(諸如術(shù)語“水平”、“垂直”等)的術(shù)語時，除非另有說明，否則參考圖的方位。