[實用新型]一種硅片傳輸裝置

有效

• 申請號: 201921554345.6
• 申請日: 2019-09-18
• 公開（公告）號: CN210325738U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 曹為龍;張建峰;朱元;王森
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型涉及太陽能電池加工設備技術領域，尤其涉及一種硅片傳輸裝置。該硅片傳輸裝置包括下運輸機構，用于將硅片逐片運送至指定位置；及上運輸機構，設置于所述指定位置的上方，所述上運輸機構被配置為能逐片將所述指定位置處的硅片吸起，并移動至目標位置的上方后解除吸附。該硅片傳輸裝置中，上運輸機構通過吸附將指定位置的硅片吸起并移動至目標位置的上方后松開硅片，通過下運輸機構和上運輸機構的重復工作，可以實現硅片在目標位置的堆疊，且堆疊過程中相鄰兩張硅片之間不會相互摩擦，從而避免因硅片磨損而導致的硅落和崩邊等現象；上運輸機構通過吸附的方式移動硅片，硅片位置更穩定，避免因硅片抖動嚴重而導致堵片。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池加工設備技術領域，尤其涉及一種硅片傳輸裝置。

背景技術

在硅片的加工生產中，為了滿足不同的應用需求，時常需要將硅片進行各種化學處理，隨著自動化生產的普及，硅片一般會通過流水線運送至各個加工工位，而為了提高生產效率，有些加工工段需要將一個硅片放入另一個硅片底部進行堆疊，以便后續加工、運輸或收納。

現有技術中，一般將堆疊在一起的兩張硅片放入花籃的一個卡槽內。為將兩張硅片自動運輸至同一卡槽內從而解放人力，提高效率，目前采取的方法是首先將第一張硅片送入花籃的卡槽內，之后利用壓縮空氣將放入卡槽內的第一硅片的一端吹起，使得第一張硅片與卡槽之間形成容納第二張硅片的空間；再將第二張硅片送入該空間內。但第二張硅片在送入卡槽內的過程中會與第一張硅片發生摩擦，容易導致硅片磨損從而產生硅落、崩邊等現象；第一張硅片通過壓縮空氣吹起，硅片位置不穩定，且容易與卡槽的頂面碰撞而導致硅片上下抖動嚴重，使得第二張硅片無法順利送入第一張硅片與卡槽底部之間的空間，即頻繁堵片。

因此，亟需一種硅片傳輸裝置，以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種硅片傳輸裝置，能夠避免硅片在傳輸過程中堆疊時相互摩擦，防止因硅片抖動而引起的堵片現象。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種硅片傳輸裝置，包括：

下運輸機構，用于將硅片逐片運送至指定位置；及

上運輸機構，設置于所述指定位置的上方，所述上運輸機構被配置為能逐片將所述指定位置處的硅片吸起，并移動至目標位置的上方后解除吸附。

其中，所述上運輸機構的底面與所述目標位置之間沿豎直方向的間距不小于兩片所述硅片的厚度和。

其中，所述上運輸機構包括：

伸縮臺，所述伸縮臺的底面設置有吸附孔；及

上皮帶組件，設置于所述伸縮臺上，所述上皮帶組件用于傳輸被所述吸附孔吸附的所述硅片。

其中，所述上皮帶組件的底面低于所述伸縮臺的底面，且與被所述吸附孔吸附的所述硅片接觸。

其中，所述上皮帶組件設置有兩個，所述伸縮臺位于兩個所述上皮帶組件之間。

其中，所述上運輸機構還包括：

安裝架，所述伸縮臺固定于所述安裝架底部；

驅動件，設置于所述安裝架上，并與所述上皮帶組件傳動連接；及

張緊件，轉動設置于所述安裝架上，用于張緊所述上皮帶組件。

其中，所述硅片傳輸裝置還包括：

感應裝置，所述感應裝置被配置為檢測所述下運輸機構上傳輸的硅片是否移動到所述指定位置。

其中，所述感應裝置為對射式傳感器、距離傳感器或接近傳感器。

其中，所述硅片傳輸裝置還包括：