[實用新型]一種硅片傳輸裝置

有效

• 申請號: 201921554345.6
• 申請日: 2019-09-18
• 公開（公告）號: CN210325738U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 曹為龍;張建峰;朱元;王森
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種硅片傳輸裝置，其特征在于，包括：

下運輸機構(1)，用于將硅片(9)逐片運送至指定位置；及

上運輸機構(2)，設置于所述指定位置的上方，所述上運輸機構(2)被配置為能逐片將所述指定位置處的硅片(9)吸起，并移動至目標位置的上方后解除吸附。

2.如權利要求1所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述上運輸機構(2)的底面與所述目標位置之間沿豎直方向的間距不小于兩片所述硅片(9)的厚度和。

3.如權利要求1所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述上運輸機構(2)包括：

伸縮臺(22)，所述伸縮臺(22)的底面設置有吸附孔；及

上皮帶組件(23)，設置于所述伸縮臺(22)上，所述上皮帶組件(23)用于傳輸被所述吸附孔吸附的所述硅片(9)。

4.如權利要求3所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述上皮帶組件(23)的底面低于所述伸縮臺(22)的底面，且與被所述吸附孔吸附的所述硅片(9)接觸。

5.如權利要求3所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述上皮帶組件(23)設置有兩個，所述伸縮臺(22)位于兩個所述上皮帶組件(23)之間。

6.如權利要求3所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述上運輸機構(2)還包括：

安裝架(21)，所述伸縮臺(22)固定于所述安裝架(21)底部；

驅動件(24)，設置于所述安裝架(21)上，并與所述上皮帶組件(23)傳動連接；及

張緊件(25)，轉動設置于所述安裝架(21)上，用于張緊所述上皮帶組件(23)。

7.如權利要求1-6中任一項所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述硅片傳輸裝置還包括：

感應裝置，所述感應裝置被配置為檢測所述下運輸機構(1)上傳輸的所述硅片(9)是否移動到所述指定位置。

8.如權利要求7所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述感應裝置為對射式傳感器、距離傳感器或接近傳感器。

9.如權利要求1-6中任一項所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述硅片傳輸裝置還包括：

放置臺(3)，所述放置臺(3)被配置為承載收納機構，所述目標位置位于所述收納機構內。

10.如權利要求9所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述硅片傳輸裝置還包括：

升降機構(4)，所述升降機構(4)被配置為驅動所述放置臺(3)升降。

11.如權利要求9所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述硅片傳輸裝置還包括：

輸入機構(5)，所述輸入機構(5)被配置為向所述放置臺(3)運輸所述收納機構；及

輸出機構(6)，所述輸出機構(6)被配置為將滿載硅片的所述收納機構由所述放置臺(3)輸出。

12.如權利要求11所述的硅片傳輸裝置，其特征在于，所述硅片傳輸裝置還包括：

輔助運輸機構(7)，設置于所述放置臺(3)上，所述輔助運輸機構(7)被配置為承接所述輸入機構(5)傳入的所述收納機構，以及將滿載硅片的所述收納機構輸送至所述輸出機構(6)。