[實用新型]半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921550912.0
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN210894723U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢焱杰;呂瑾;沈靜蔚
• 申請（專利權(quán)）人: 上海振南工程咨詢監(jiān)理有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01V1/00
• 分類號: G01V1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，包括傳感器(13)和數(shù)據(jù)處理顯示器(1)，所述傳感器(13)與所述數(shù)據(jù)處理顯示器(1)之間設(shè)置有電線(2)，其特征在于：所述傳感器(13)的外壁套設(shè)有保護(hù)管(5)，所述保護(hù)管(5)的側(cè)壁設(shè)置有用于卡緊傳感器(13)的抵緊件(17)，所述保護(hù)管(5)的上端卡接有管蓋(10)，所述管蓋(10)包括蓋板一(3)和蓋板二(4)，所述蓋板一(3)與所述蓋板二(4)于側(cè)壁的一端鉸接，所述管蓋(10)與垂直所述管蓋(10)拆分線的側(cè)壁上固定連接有合頁一(8)，所述保護(hù)管(5)的上端于所述合頁一(8)的對稱位置處固定連接有合頁二(9)，所述合頁一(8)與所述合頁二(9)之間設(shè)置有緊固件(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述抵緊件(17)包括抵桿(7)和卡手(19)，所述保護(hù)管(5)的側(cè)壁開設(shè)有通孔(21)，所述抵桿(7)穿設(shè)過所述通孔(21)抵接于所述傳感器(13)的外壁，所述卡手(19)固定連接于所述抵桿(7)朝向所述傳感器(13)的一端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述卡手(19)與所述保護(hù)管(5)的側(cè)壁之間于所述抵桿(7)上套設(shè)有壓縮彈簧(18)，所述壓縮彈簧(18)的一端與所述卡手(19)固定連接，所述壓縮彈簧(18)的另一端與所述保護(hù)管(5)的內(nèi)壁固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述卡手(19)朝向所述傳感器(13)的一端固定連接有防護(hù)層(20)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述保護(hù)管(5)的底端固定連接有供所述傳感器(13)的頂端放置的抵接臺(14)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述緊固件(16)包括螺柱(12)與螺母(11)，所述螺柱(12)穿設(shè)過所述合頁一(8)與所述合頁二(9)，且于所述合頁二(9)的下端與所述螺母(11)螺旋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述管蓋(10)底端固定連接有密封板(15)，所述密封板(15)于所述管蓋(10)的分割線處拆分兩半。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述保護(hù)管(5)朝向地面的一側(cè)固定連接有底腳(6)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，其特征在于：所述傳感器(13)的朝向所述保護(hù)管(5)底的一端設(shè)置為圓錐臺狀。