[實用新型]半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921550912.0
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN210894723U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢焱杰;呂瑾;沈靜蔚
• 申請（專利權(quán)）人: 上海振南工程咨詢監(jiān)理有限責(zé)任公司
• 主分類號: G01V1/00
• 分類號: G01V1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，涉及地震監(jiān)測設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，解決了傳感器埋入地下時，由于土地內(nèi)的氧化物質(zhì)會對傳感器的表面進(jìn)行氧化磨損的問題，其包括傳感器和數(shù)據(jù)處理顯示器，傳感器與數(shù)據(jù)處理器之間設(shè)置有電線，傳感器的外壁套設(shè)有保護(hù)管，保護(hù)管的側(cè)壁設(shè)置有用于卡緊傳感器的抵緊件，保護(hù)管的上端卡接有管蓋，管蓋包括蓋板一和蓋板二，蓋板一與蓋板二于側(cè)壁的一端鉸接，管蓋與垂直管蓋拆分線的側(cè)壁上固定連接有合頁一，保護(hù)管的上端于合頁一的對稱位置處固定連接有合頁二，合頁一與合頁二之間設(shè)置有緊固件。本實用新型具有減少傳感器在地下產(chǎn)生氧化損壞的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及地震監(jiān)測設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置。

背景技術(shù)

巖石工程動力災(zāi)害的研究表明，不管是沖擊地壓、礦震等煤礦礦山動力災(zāi)害問題，還是巖石工程動力災(zāi)害失穩(wěn)問題，都是與工程活動過程中的應(yīng)力場擾動所誘發(fā)的微破裂萌生、發(fā)展、貫通等巖石破裂過程失穩(wěn)的結(jié)果。任何巖體在宏觀破壞前一般都會產(chǎn)生許多細(xì)小的微破裂。因此，不管是哪種巖石動力災(zāi)害，在多數(shù)情況下，在動力災(zāi)害出現(xiàn)之前，都有微破裂前兆。而誘發(fā)微破裂活動的直接原因則是巖層中應(yīng)力或應(yīng)變增加的結(jié)果。這些微破裂會以彈性能釋放的形式產(chǎn)生彈性波，而彈性波可被安裝在有效范圍內(nèi)的傳感器接收。利用多個傳感器接收這種彈性波信息，通過反演方法就可以得到巖體微破裂發(fā)生的時刻、位置和性質(zhì)，即地球物理學(xué)中所謂的“時空強(qiáng)”三要素。根據(jù)微破裂的大小、集中程度、破裂密度，則有可能推斷巖石宏觀破裂的發(fā)展趨勢，這就是微震監(jiān)測技術(shù)。

半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房在進(jìn)行半導(dǎo)體制程時需要掌握實時的環(huán)境情況，在晃動的環(huán)境下進(jìn)行半導(dǎo)體的制作是比較危險的。

現(xiàn)有的微震監(jiān)測裝置是將傳感器埋入地下通過導(dǎo)線將傳感器與數(shù)據(jù)讀取裝置連接，通過觀察數(shù)據(jù)對環(huán)境狀況進(jìn)行實時的監(jiān)測。

上述中的現(xiàn)有技術(shù)方案存在以下缺陷：傳感器是金屬制品，在將傳感器埋入地下時，由于土地內(nèi)的氧化物質(zhì)會對傳感器的表面進(jìn)行氧化磨損，有改進(jìn)空間。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種減少傳感器在地下產(chǎn)生氧化損壞的半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置。

本實用新型的上述實用新型目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的：

一種半導(dǎo)體設(shè)備制程廠房的微震監(jiān)測裝置，包括傳感器和數(shù)據(jù)處理顯示器，所述傳感器與所述數(shù)據(jù)處理顯示器之間設(shè)置有電線，所述傳感器的外壁套設(shè)有保護(hù)管，所述保護(hù)管的側(cè)壁設(shè)置有用于卡緊傳感器的抵緊件，所述保護(hù)管的上端卡接有管蓋，所述管蓋包括蓋板一和蓋板二，所述蓋板一與所述蓋板二于側(cè)壁的一端鉸接，所述管蓋與垂直所述管蓋拆分線的側(cè)壁上固定連接有合頁一，所述保護(hù)管的上端于所述合頁一的對稱位置處固定連接有合頁二，所述合頁一與所述合頁二之間設(shè)置有緊固件。

通過采用上述技術(shù)方案，通過將傳感器放入保護(hù)管內(nèi)，通過管蓋與保護(hù)管配合，進(jìn)一步的通過合頁一和合頁二緊固將保護(hù)管密封，具有減少傳感器在地下產(chǎn)生氧化損壞的效果。

本實用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述抵緊件包括抵桿、卡手，所述保護(hù)管的側(cè)壁開設(shè)有通孔，所述抵桿穿設(shè)過所述通孔抵接于所述傳感器的外壁，所述卡手固定連接于所述抵桿朝向所述傳感器的一端。

通過采用上述技術(shù)方案，通過抵緊件可以使得傳感器穩(wěn)定的將傳感器抵緊，抵桿穿設(shè)過保護(hù)管的側(cè)壁可穿插進(jìn)土地內(nèi)，使得保護(hù)管于土地之間的連接的更加穩(wěn)定。

本實用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述卡手與所述保護(hù)管的側(cè)壁之間于所述抵桿上套設(shè)有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的一端與所述卡手固定連接，所述壓縮彈簧的另一端與所述保護(hù)管的內(nèi)壁固定連接。

通過采用上述技術(shù)方案，通過壓縮彈簧可以使得卡手與傳感器的側(cè)壁的抵緊效果更佳。

本實用新型進(jìn)一步設(shè)置為：所述卡手朝向所述傳感器的一端固定連接有防護(hù)層。